講演名 2010-12-10
RFマグネトロンスパッタリング法によりGaAs(001)基板上に作製したFe(001)薄膜の磁気特性評価(信号処理及び一般)
和田 祐也, 池谷 浩和, 高橋 豊, 稲葉 信幸, 桐野 文良, 大竹 充, 二本 正昭,
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抄録(和) RFマグネトロンスパッタリング法を用いてGaAs(001)基板上にFe(001)薄膜(膜厚≧6nm)を成膜し,X線回折法(XRD)による結晶構造解析を行いFe薄膜がエピタキシャル成長していることを確認した.磁気特性は振動試料型磁力計(VSM)と強磁性共鳴法(FMR)による測定を行った.膜面平行に磁界を印加したVSM測定による磁化曲線はFe[100]方向が磁化容易方向,[110]方向が磁化困難方向であることを示しており,飽和磁化の値はbulkFeとほぼ同じ大きさを持つことが確認された.またFMRにより測定された面内磁気異方性は,bcc Feに対応する4回対称であり,FMRの共鳴線幅から求めたダンピング定数は極めて小さい値を示した.
抄録(英) Fe thin films, down to 6 nm thick, were prepared on GaAs(001) substrates by RF magnetron sputtering. The x-ray diffraction (XRD) analyses show that the epitaxial thin films of Fe(001) were grown with cube-on-cube orientation on GaAs(00l). Magnetic properties were investigated by vibrating sample magnetometry (VSM) and ferromagnetic resonance (FMR) spectroscopy. The magnetization curves obtained by applying in-plane magnetic fields indicate that easy (hard) direction is along [100] ([110]) and the saturation magnetization is close to the bulk values. The in-plane magnetic amsotropy measured by FMR shows four-fold symmetry, as expected for bcc Fe. The Gilbert damping coefficient, derived from the experimental linewidths of FMR, is small and independent of the direction of applied field.
キーワード(和) Fe薄膜 / GaAs / RFマグネトロンスパッタリング / 強磁性共鳴 / ダンピング定数
キーワード(英) Fe thin film / GaAs / RF magnetron sputtering / Ferromagnetic resonance / Gilbert damping constant
資料番号 MR2010-50
発行日

研究会情報
研究会 MR
開催期間 2010/12/2(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Magnetic Recording (MR)
本文の言語 JPN
タイトル(和) RFマグネトロンスパッタリング法によりGaAs(001)基板上に作製したFe(001)薄膜の磁気特性評価(信号処理及び一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Crystal Structures and Magnetic Properties of Fe(001) Thin Films on GaAs(001) Deposited by RF Magnetron Sputtering
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Fe薄膜 / Fe thin film
キーワード(2)(和/英) GaAs / GaAs
キーワード(3)(和/英) RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering
キーワード(4)(和/英) 強磁性共鳴 / Ferromagnetic resonance
キーワード(5)(和/英) ダンピング定数 / Gilbert damping constant
第 1 著者 氏名(和/英) 和田 祐也 / Yuya WADA
第 1 著者 所属(和/英) 山形大学大学院理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University
第 2 著者 氏名(和/英) 池谷 浩和 / Hirokazu IKEYA
第 2 著者 所属(和/英) 山形大学大学院理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University
第 3 著者 氏名(和/英) 高橋 豊 / Yutaka TAKAHASHI
第 3 著者 所属(和/英) 山形大学大学院理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University
第 4 著者 氏名(和/英) 稲葉 信幸 / Nobuyuki INABA
第 4 著者 所属(和/英) 山形大学大学院理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University
第 5 著者 氏名(和/英) 桐野 文良 / Fumiyoshi KIRINO
第 5 著者 所属(和/英) 東京藝術大学大学院美術研究科
Tokyo National University of Fine Arts and Music
第 6 著者 氏名(和/英) 大竹 充 / Mitsuru OHTAKE
第 6 著者 所属(和/英) 中央大学理工学部
Faculty of Science and Engineering, Chuo University /
第 7 著者 氏名(和/英) 二本 正昭 / Masaaki FUTAMOTO
第 7 著者 所属(和/英) 中央大学理工学部
発表年月日 2010-12-10
資料番号 MR2010-50
巻番号(vol) vol.110
号番号(no) 329
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日