| 講演名 | 2010-09-02 シリコンフォトニクス(招待講演) 森 雅彦, 榊原 陽一, 岡野 誠, 古屋 克己, 亀井 利浩, 金高 健二, 庄司 雄哉, 須田 悟史, 河島 整, |
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| 抄録(和) | シリコンを光導波路のコアに、SiO_2や空気をクラッドとして用いるシリコンフォトニクスは、高屈折率差により微小光回路を実現できるとともに、既存の成熟したシリコンCMOS技術を光デバイスに転用できるために高品質なデバイスを低コストに実現できる可能性を持つ。また、光電子集積デバイスも作製が可能であり、近年活発な研究開発が進められてきている。われわれも光通信用大規模マトリックススイッチや光インターコネクションを目指しシリコンフォトニクスの研究を進めている。特に、バックエンドプロセスとしての光回路及び、立体的な光配線作製を考えると、低温で多層集積可能なアモルファスシリコンを用いた技術の開発が重要である。 |
| 抄録(英) | Silicon Photonics, which consist of silicon core and SiO_2 and/or air clad in optical waveguides, can achieve very small optical circuits according to the high refractive index difference. And it has the possibility that a high-quality and low-cost optical devices by using mature silicon CMOS technologies. Moreover, the photo-electric integrated device can be made. Therefore, active researches and developments have been advanced in recent years. We are also studying silicon photonics technologies for large-scale matrix switches and optical interconnections. Especially, the development of the technology that uses amorphous silicon is very important because that can accumulate multilayer at low temperature when thinking about optical circuits as the back-end process and three-dimensional optical circuits. |
| キーワード(和) | シリコンフォトニクス / 光マトリックススイッチ / 光インターコネクション / アモルファスシリコン |
| キーワード(英) | Silicon Photonics / Optical Matrix Switch / Optical Interconnection / Amorphous Silicon |
| 資料番号 | PN2010-16 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | PN |
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| 開催期間 | 2010/8/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Photonic Network (PN) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコンフォトニクス(招待講演) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Silicon Photonics |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon Photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 光マトリックススイッチ / Optical Matrix Switch |
| キーワード(3)（和/英） | 光インターコネクション / Optical Interconnection |
| キーワード(4)（和/英） | アモルファスシリコン / Amorphous Silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 森 雅彦 / Masahiko Mori |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 榊原 陽一 / Youichi Sakakibara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岡野 誠 / Makoto Okano |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 古屋 克己 / Katsumi Furuya |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 亀井 利浩 / Toshihiro Kamei |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所マイクロシステム研究センター Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金高 健二 / Kenji Kintaka |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 庄司 雄哉 / Yuya Shoji |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 須田 悟史 / Satoshi Suda |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 河島 整 / Hitoshi Kawashima |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 発表年月日 | 2010-09-02 |
| 資料番号 | PN2010-16 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 193 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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