| 講演名 | 2010-10-19 フリップチップ接続による磁場結合方式に基づくSQUIDの評価(超伝導エレクトロニクス基盤技術及び一般) 山田 隆宏, 前澤 正明, 丸山 道隆, 大江 武彦, 浦野 千春, 金子 晋久, 日高 睦夫, 佐藤 哲朗, 永沢 秀一, 日野出 憲治, 神代 暁, |
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| 抄録(和) | 集積型極低温電流比較器(Integrated Cryogenic Current Comparator:ICCC)の開発を行っている。巻き線やそれを囲む超伝導シールド、検出・入力コイルやSQUIDがすべて集積されており、ジョセフソン接合を含む多層配線プロセスが必要である。十分な精度を得るためには、あらゆる回路・プロセス構造について試作を行い評価し最適化する必要があり、開発には膨大な時間を要する。素子作製プロセスの簡略化を図りつつICCCの開発を進めるために、ICCC全体に対して、設計変更頻度の比較的低い部分(SQUID)と、頻度の高い部分(入力コイルを含む前段の要素回路)とに分離し、別々のチップに搭載することを検討した。両者をフリップチップ接続することができれば、後者のみの試作に集中することができる。本研究では、フリップチップ接続を用いた場合でも強固な磁場結合を得るための検討を行った。具体的には、SQUIDの構造パラメータを変化させつつ、結合係数を評価した。本稿ではその詳細について述べる。 |
| 抄録(英) | We are developing integrated cryogenic current comparators (ICCCs). To obtain high accuracy, we have to optimize structures of ICCCs by repeating fabrication and testing of various ICCC structures. Moreover, because of integration of a lot of ICCC components such as winding coils, a superconductor shield, pick-up/input coils and a SQUID, a superconductor multilayer process including Josephson junctions is necessary. Due to these two reasons, development of ICCCs takes a long turn-around time. To shorten the turn-around time, we divided those ICCC components into two parts: each part is integrated on a single chip; one consists of a SQUID washer and the other consists of the remaining CCC core including an input coil. They are connected by using a flip-chip bonding technique. By this design scheme, we can concentrate on developing the CCC core, apart from the SQUID which is not necessary to be optimized, leading to a short turn-around time. In this scheme, however, the SQUID and the input coil should be carefully designed to have a sufficiently large coupling. We designed the input-coil and SQUID chips and evaluated the coupling coefficient. |
| キーワード(和) | 極低温電流比較器 / 集積型極低温電流比較器 / SQUID / 入力コイル / 結合係数 / フリップチップ接続 / 超伝導 / 多層配線プロセス |
| キーワード(英) | Cryogenic Current Comparator / Integrated Cryogenic Current Comparator / SQUID / Input coil / Coupling coefficient / Flip-chip bonding / Superconductor / Multilayer process |
| 資料番号 | SCE2010-30 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2010/10/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | フリップチップ接続による磁場結合方式に基づくSQUIDの評価(超伝導エレクトロニクス基盤技術及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Inductance Evaluation of SQUIDs with Flip-Chip Input Coils |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 極低温電流比較器 / Cryogenic Current Comparator |
| キーワード(2)（和/英） | 集積型極低温電流比較器 / Integrated Cryogenic Current Comparator |
| キーワード(3)（和/英） | SQUID / SQUID |
| キーワード(4)（和/英） | 入力コイル / Input coil |
| キーワード(5)（和/英） | 結合係数 / Coupling coefficient |
| キーワード(6)（和/英） | フリップチップ接続 / Flip-chip bonding |
| キーワード(7)（和/英） | 超伝導 / Superconductor |
| キーワード(8)（和/英） | 多層配線プロセス / Multilayer process |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山田 隆宏 / Takahiro YAMADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 前澤 正明 / Masaaki MAEZAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 丸山 道隆 / Michitaka MARUYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 大江 武彦 / Takehiko OE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 浦野 千春 / Chiharu URANO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金子 晋久 / Nobu-hisa KANEKO |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 日高 睦夫 / Mutsuo HIDAKA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center(ISTEC) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 佐藤 哲朗 / Tetsuro SATOH |
| 第 8 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center(ISTEC) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 永沢 秀一 / Shuichi NAGASAWA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center(ISTEC) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 日野出 憲治 / Kenji HINODE |
| 第 10 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center(ISTEC) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 神代 暁 / Satoshi KOHJIRO |
| 第 11 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(AIST) |
| 発表年月日 | 2010-10-19 |
| 資料番号 | SCE2010-30 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 235 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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