| 講演名 | 2010-08-26 ベータ相水晶による高温用精密温度センサの検討(光部品・電子デバイス実装技術,一般) 宇野 武彦, 野毛 悟, |
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| 抄録(和) | 水晶は極めて安定な圧電材料であり,安定で小型な周波数制御デバイスに広く用いられている.水晶振動子の特性は結晶の切断方位や振動のモードに依存し,周波数温度特性は常温付近ではよく研究されている.一方573℃以上の高温域(β相)での研究はほとんど見当たらず、その応用は皆無と言ってよい。本論文では,β水晶が1,300℃の高温まで共振が得られることを示し、圧電振動に関連する定数の測定結果を報告するとともに、高精度の温度センサとして有用であることを示す。 |
| 抄録(英) | Quartz has been widely used for resonators and filters because of its excellent electromechanical characteristics. Quartz has a transition temperature, Tc, at 573℃. The electromechanical characteristics of quartz have been well investigated for α-phase(below Tc), however the characteristics in β-phase have not been well clarified. We investigated the piezoelectric properties of β-quartz plates from 573℃ to about 1,300℃. Clear piezoelectric resonances with high quality factors were observed. By using the large frequency temperature coe cient, β-phase quartz can be applicable to temperature sensors in high temperature region above 600℃. We proposed also an unwired set-up using the β-phase quartz temperature sensor. |
| キーワード(和) | β相水晶 / 高温 / 温度センサー / 圧電特性 |
| キーワード(英) | β-phase quartz / high-temperature / temperature sensor / piezoelectricity |
| 資料番号 | EMD2010-30,CPM2010-46,OPE2010-55,LQE2010-28 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2010/8/19(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ベータ相水晶による高温用精密温度センサの検討(光部品・電子デバイス実装技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Precise High Temperature Sensor using β-phase Quartz |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | β相水晶 / β-phase quartz |
| キーワード(2)（和/英） | 高温 / high-temperature |
| キーワード(3)（和/英） | 温度センサー / temperature sensor |
| キーワード(4)（和/英） | 圧電特性 / piezoelectricity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko UNO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Faculty of Engineering, Kanagawa Inst. Tech. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru NOGE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 沼津工業高等専門学校 Dept. Electrical & Electronic Eng. Numazu Nation. College of Tech. |
| 発表年月日 | 2010-08-26 |
| 資料番号 | EMD2010-30,CPM2010-46,OPE2010-55,LQE2010-28 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 178 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |