| 講演名 | 2010-07-22 集積型極低温電流比較器の提案(信号処理基盤技術及びその応用,一般) 丸山 道隆, 浦野 千春, 大江 武彦, 前澤 正明, 山田 隆宏, 日高 睦夫, 佐藤 哲朗, 永沢 秀一, 日野出 憲治, 金子 晋久, |
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| 抄録(和) | 超伝導集積回路技術を用いた小型の極低温電流比較器(CCC)を提案する.超精密測定などで広く用いられる従来のCCCは,一般に鉛バルクを用いて構成され,数～十数センチの大きさを持つ.その作製には高い技能を要する上,動作のために液体へリウム冷却を必要とする。さらに、機械的な強度が低く耐久性や信頼性が低い、測定において振動の影響を受けやすい、などの欠点を有する.立体的に複雑な構造が必要なCCCは、従来の超伝導薄膜プロセスでは実現できなかった。しかし、超伝導集積回路用に開発された多層化配線プロセスを用いてCCCを集積化すれば,これらの欠点は克服され,小型で冷凍機冷却が可能な,高信頼,高機能な集積型CCC (ICCC)が実現可能である.ICCCの基本原理や設計,作製プロセスについて述べた後,現在までに行われた基礎実験結果を紹介し,将来展望について議論する. |
| 抄録(英) | We propose a small cryogenic current comparator (CCC) using a superconducting integrated circult technology. Conventional CCCs, which are widely used for high-precision electrical measurements, are usually made with lead bulk, and have the sizes of the order of several to more than ten centimeters. Such the hand-made CCCs require a special skill for their fabrication and liquid helium cooling for their operation. Additionally, they have some problems in durability and reliability due to mechanically soft lead material. In actual measurements, data is easily affected by vibration. The three dimensional structure of CCC is rather complex; it was not realized by normal superconductor thin-film processes. If we could make a CCC with a thin-film structure using a multilayer process which was originally developed for fabricating superconducting integrated circuits, a small-size integrated CCC (ICCC), which can be cooled with a compact cryocooler, with high reliability and increased functions will be realized. This paper proposes the basis, the design and fabrication of the ICCC, shows some experimental results, and discusses prospective views. |
| キーワード(和) | 超伝導 / 極低温電流比較器 / 多層プロセス / 精密計測 |
| キーワード(英) | Superconductor / Cryogenic Current Comparator / Multilayer Process / Precision Measurement |
| 資料番号 | SCE2010-16 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2010/7/15(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 集積型極低温電流比較器の提案(信号処理基盤技術及びその応用,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An Integrated Cryogenic Current Comparator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導 / Superconductor |
| キーワード(2)（和/英） | 極低温電流比較器 / Cryogenic Current Comparator |
| キーワード(3)（和/英） | 多層プロセス / Multilayer Process |
| キーワード(4)（和/英） | 精密計測 / Precision Measurement |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 丸山 道隆 / Michitaka MARUYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 浦野 千春 / Chiharu URANO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大江 武彦 / Takehiko OE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 前澤 正明 / Masaaki MAEZAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 山田 隆宏 / Takahiro YAMADA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 日高 睦夫 / Mutsuo HIDAKA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 佐藤 哲朗 / Tetsuro SATOH |
| 第 7 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 永沢 秀一 / Shuichi NAGASAWA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 日野出 憲治 / Kenji HINODE |
| 第 9 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 金子 晋久 / Nobu-hisa KANEKO |
| 第 10 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 発表年月日 | 2010-07-22 |
| 資料番号 | SCE2010-16 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 139 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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