| 講演名 | 2009-12-18 Si導波路と集積化したオンチップ光配線デバイスの開発(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般) 小林 賢太郎, 大平 和哉, 飯塚 紀夫, 吉田 春彦, 江崎 瑞仙, |
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| 抄録(和) | シリコンフォトニクス技術を活用したLSI光配線の実現に向けて、Siチップ上に光導波路及び光機能デバイスの小型・集積化の技術開発を進めている。半導体レーザ光源(LD)とシリコン導波路および受光素子(PD)を1チップ上に集積化し、高効率で温度特性に優れた光送受信動作を実証した。LDには1.3μm帯GaInNAs/GaAs単一量子井戸レーザを用い、Si導波路と集積化する際にSOI基板の下地Siに接合した素子構造の採用により、良好な温度特性、Si導波路への高い光結合効率62%が得られた。 |
| 抄録(英) | We report on the development of on-chip silicon photonic components for the realization of LSI optical interconnection. This paper presents on-chip integration of laser diodes (LDs), Si waveguides and photodetectors (PDs), and demonstration of an optical transmission link with high efficiency and good temperature stability. 1.3μm band GaInNAs/GaAs single quantum well LDs are integrated with Si waveguides through mounting on Si substrate under the buried oxide layer of the SOI substrate. The mounted devices exhibit good temperature stability with coupling efficiencies from the output of the LD to the Si waveguide of greater than 60% |
| キーワード(和) | 光配線 / Si導波路 / シリコンフォトニクス / レーザダイオード |
| キーワード(英) | Optical interconnection / Si waveguides / Silicon photonics / Laser diode |
| 資料番号 | OPE2009-170 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2009/12/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si導波路と集積化したオンチップ光配線デバイスの開発(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of on-chip optical interconnection devices integrated with Si waveguides |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光配線 / Optical interconnection |
| キーワード(2)（和/英） | Si導波路 / Si waveguides |
| キーワード(3)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon photonics |
| キーワード(4)（和/英） | レーザダイオード / Laser diode |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 小林 賢太郎 / Kentaro KOBAYASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター Corporate R&D Center, Toshiba Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大平 和哉 / Kazuya OHIRA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター Corporate R&D Center, Toshiba Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 飯塚 紀夫 / Norio IIZUKA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター Corporate R&D Center, Toshiba Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 吉田 春彦 / Haruhiko YOSHIDA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター Corporate R&D Center, Toshiba Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 江崎 瑞仙 / Mizunori EZAKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センター Corporate R&D Center, Toshiba Corporation |
| 発表年月日 | 2009-12-18 |
| 資料番号 | OPE2009-170 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 353 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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