| 講演名 | 2009-12-18 プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般) 三浦 健太, 町田 裕貴, 上原 政人, 花泉 修, 石井 保行, 佐藤 隆博, 高野 勝昌, 大久保 猛, 山崎 明義, 井上 愛知, 江夏 昌志, 横山 彰人, 神谷 富裕, 小嶋 拓治, 西川 宏之, |
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| 抄録(和) | プロトンビーム描画は,次世代の微細加工技術として注目されているが,PMMAへのプロトン照射による屈折率向上効果を利用することによって,光導波路形成への応用も可能である.今回我々は,このプロトンビーム描画を利用してPMMA薄膜導波路を試作した.長さ10mm程度の直線導波路を作製,評価したところ,波長1.55μmにおいてシングルモード伝搬を確認できたので報告する. |
| 抄録(英) | Proton beam writing attracts recently much attention as one of the next-generation micro-fabrication technologies. It has many advantages compared with other technologies such as electron beam lithography. Proton beam writing makes three-dimensional fabrication easier and also processing throughput higher. The importance of planar polymer optical waveguides is recently increasing in the field of optical fiber communication. In this study, we proposed and fabricated line-type PMMA thin film waveguides by the proton beam writing, and we obtained single-mode waveguides working at a wavelength of 1.55μm. |
| キーワード(和) | プロトンビーム描画 / PMMA / シングルモード導波路 |
| キーワード(英) | Proton Beam Writing / PMMA / Single-mode Waveguide |
| 資料番号 | OPE2009-165 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2009/12/11(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single-mode PMMA Waveguides for the 1.5-μm Wavelength Range Fabricated by Proton Beam Writing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プロトンビーム描画 / Proton Beam Writing |
| キーワード(2)（和/英） | PMMA / PMMA |
| キーワード(3)（和/英） | シングルモード導波路 / Single-mode Waveguide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三浦 健太 / Kenta MIURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 町田 裕貴 / Yuki MACHIDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 上原 政人 / Masato UEHARA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石井 保行 / Yasuyuki ISHII |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 佐藤 隆博 / Takahiro SATOH |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 高野 勝昌 / Katsuyoshi TAKANO |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 大久保 猛 / Takeru OHKUBO |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 山崎 明義 / Akiyoshi YAMAZAKI |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 井上 愛知 / Aichi INOUYE |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 江夏 昌志 / Masashi KOKA |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 横山 彰人 / Akihito YOKOYAMA |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 神谷 富裕 / Tomihiro KAMIYA |
| 第 13 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 14 著者 氏名（和/英） | 小嶋 拓治 / Takuji KOJIMA |
| 第 14 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 Japan Atomic Energy Agency |
| 第 15 著者 氏名（和/英） | 西川 宏之 / Hiroyuki NISHIKAWA |
| 第 15 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2009-12-18 |
| 資料番号 | OPE2009-165 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 353 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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