| 講演名 | 2010-05-14 白金担持TiO_2薄膜の生成と光触媒特性(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 中村 郁太, 伊藤 達也, 以西 雅章, 星 陽一, |
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| 抄録(和) | 本研究では,RFマグネトロンスパッタリング法により生成したT1O_2薄膜に白金を担持することにより,光触媒特性の向上を図った.非加熱基板上に生成した薄膜はアナターゼ構造を示した.白金を担持すると,有機物分解特性は,担持しなかったものに比べて大きな分解活性指数を示した.しかし,光励起親水特性は白金を担持すると低下した. |
| 抄録(英) | This research was designed for planning a progress of photocatalystic properties of TiO_2 thin films with depositing Pt particles on top by RF magnetron sputtering method. The films prepared without heating substrate showed anatase structure. The organics-decomposition properties of TiO_2 thin films with Pt deposition showed large decomposition rate compared with these without Pt deposition. But the optically excited hydrophilicity characteristics were descreased in the case of Pt deposition. |
| キーワード(和) | TiO_2薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / 光触媒 / 白金担持 |
| キーワード(英) | TiO_2 thin films / RF magnetron sputtering / Photocatalyst / Pratinum deposition |
| 資料番号 | ED2010-28,CPM2010-18,SDM2010-28 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2010/5/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 白金担持TiO_2薄膜の生成と光触媒特性(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of Pt-deposited TiO_2 films and evaluation of photocatalystic properties |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | TiO_2薄膜 / TiO_2 thin films |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | 光触媒 / Photocatalyst |
| キーワード(4)（和/英） | 白金担持 / Pratinum deposition |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中村 郁太 / Ikuta Nakamura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 伊藤 達也 / Tatsuya Ito |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 星 陽一 / Yoichi Hoshi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工芸大学工学部システム情報学科 Graduate School of Engineering, Tokyo Polytechnic University |
| 発表年月日 | 2010-05-14 |
| 資料番号 | ED2010-28,CPM2010-18,SDM2010-28 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 31 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |