| 講演名 | 2010-04-23 マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術(マイクロ波超伝導/一般) 桑原 啓, 高河原 和彦, 佐藤 昇男, 佐藤 康博, |
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| 抄録(和) | マルチバンド対応の小型,低消費電力RF回路の実現に向け,多数個,複数種類のRF MEMSデバイスとCMOSデバイスを集積化する技術を提案する.また,バンドに応じて回路構成を切り替えるためのRF MEMSスイッチに関して,(1) CMOSデバイスとのプロセス親和性,(2)半導体実装技術を適用するための可動部保護,(3)CMOS制御回路から駆動するための低電圧動作,を特徴とする構造設計とプロセス構築を行い,スイッチを試作して高周波特性を測定した結果を示す.そして,RF MEMSスイッチを応用したスイッチトインダクタ回路と,CMOS制御回路と複数個のRF MEMSスイッチを集積化したRF CMOS-MEMSスイッチについて,試作結果を示し,提案技術の有効性を示す. |
| 抄録(英) | This paper describes integrated RF MEMS technology that enables integration of various kinds of RF MEMS devices and CMOS devices. RF MEMS switches that feature (1) CMOS-compatible process, (2) protection of movable parts for packaging with semiconductor packaging technology, (3) low-voltage operation for actuation by CMOS control circuits, are explained. Applications of the RF MEMS switches, such as switched inductor circuits and RF MEMS switch array with CMOS control circuits, are demonstrated. |
| キーワード(和) | MEMS / CMOS / RF回路 / スイッチ / インダクタ / 集積化 |
| キーワード(英) | MEMS / CMOS / RF circuits / Switch / Inductor / Integration |
| 資料番号 | SCE2010-8,MW2010-8 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2010/4/16(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術(マイクロ波超伝導/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Integrated RF MEMS Technology for Multiband RF Circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(3)（和/英） | RF回路 / RF circuits |
| キーワード(4)（和/英） | スイッチ / Switch |
| キーワード(5)（和/英） | インダクタ / Inductor |
| キーワード(6)（和/英） | 集積化 / Integration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 桑原 啓 / Kei Kuwabara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高河原 和彦 / Kazuhiko Takagahara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐藤 昇男 / Norio Sato |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐藤 康博 / Yasuhiro Sato |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Laboratories |
| 発表年月日 | 2010-04-23 |
| 資料番号 | SCE2010-8,MW2010-8 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 13 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |