| 講演名 | 2010-05-27 静電型超音波トランスデューサのダンピング効果(音声,応用音響,一般,音声,応用/電気音響,信号処理,及び一般) 李 昇穆, 車 溥相, 奥山 雅則, |
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| 抄録(和) | 静電型超音波トランスデューサ(CMUT)の変換効率はメンブレンの振動における媒質の機械的抵抗(インピーダンス)の影響を受ける。本研究では、空気中で動作するCMUTデバイスのダンピング効果を有限要素解析法を用いてシミュレーションした。シミュレーションでは、メンブレンに設けられる音響ホールとメンブレンのギャップの変化によるダンピング効果及び変換効率の変化を主に調べた。その結果に基づいて、ダンピング効果がデバイス効率に及ぼす影響を分析し、デバイス構造設計の最適化に関して考察した。 |
| 抄録(英) | Acoustic damping of a capacitive micromachined ultrasonic transducer in air makes a mechanical impedance in the membrane vibration, which plays an important role in the transformation efficiency of the device. We present the acoustic damping effect on the transformation efficiency of CMUT device, and those results are compared with the other factors such as capacitance variations originated from the change of air-hole rate (AR) in the total membrane area. Damping ratio of perforated membrane plate is computed under each condition, and the results of that are introduced to the calculation of membrane displacement using finite element method for the consideration of squeeze-film damping effect. Q factor and transformation efficiency of the CMUT device under the various AR of the membrane and device dimension conditions are studied, and the acoustic damping effect is discussed for the design optimization of that. |
| キーワード(和) | CMUT / ダンピング / 変換効率 |
| キーワード(英) | CMUT / Damping / Transformation efficiency |
| 資料番号 | EA2010-15,SIP2010-15,SP2010-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SIP |
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| 開催期間 | 2010/5/19(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Signal Processing (SIP) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | 静電型超音波トランスデューサのダンピング効果(音声,応用音響,一般,音声,応用/電気音響,信号処理,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Acoustic damping effect on capacitive micromachined ultrasonic transducer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMUT / CMUT |
| キーワード(2)（和/英） | ダンピング / Damping |
| キーワード(3)（和/英） | 変換効率 / Transformation efficiency |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 李 昇穆 / Seung-Mok Lee |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)Ingen MSL Ingen MSL Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 車 溥相 / Bu-Sang Cha |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学研究科 Graduate School of Engineering Science, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 奥山 雅則 / Masanori Okuyama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学研究科 Graduate School of Engineering Science, Osaka University |
| 発表年月日 | 2010-05-27 |
| 資料番号 | EA2010-15,SIP2010-15,SP2010-15 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 55 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |