| 講演名 | 2010/6/18 ナノインプリントを用いたポリマー導波路型波長フィルターの作製と評価(量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」) 橋本 隆文, 謝 楠, 水野 潤, 森 弘明, 立崎 卓也, 宇高 勝之, |
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| 抄録(和) | 我々はコア材料にSU-8、クラッド材料にPMGIとし、ポリマー導波路型波長フィルターを作製、そして、その特性評価を行った。素子作製の際、3次元モールドを用い、一括ナノインプリントを用いることでナノ構造を有するグレーティング部分とマイクロ構造を有する導波路部分を一度に作製した。その結果、偏光無依存、1570nm帯域においてコントラスト-40dBの素子が実現された。また、結合損失を含む挿入損失が12dBであることが確認された。 |
| 抄録(英) | We demonstrated polymer waveguide Bragg grating filter by one-step nanoimprint using 3dimentional mold mask. As core and clad material, we selected SU-8 and PMGI respectively. The fabricated filter device provided transmission contrast of 40dB near the expected peak wavelength and showed polarization independent characteristics. |
| キーワード(和) | 一括ナノインプリント / SU-8 / PMGI / 偏光無依存 / ポリマー導波路型波長フィルター |
| キーワード(英) | polymer waveguide / one-step nanoimprint / 3dimentional mold mask / SU-8 / PMGI / polarization independent |
| 資料番号 | LQE2010-21,OPE2010-19 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2010/6/18(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノインプリントを用いたポリマー導波路型波長フィルターの作製と評価(量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of polymer waveguide Bragg filter by nanoimprint |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 一括ナノインプリント / polymer waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | SU-8 / one-step nanoimprint |
| キーワード(3)（和/英） | PMGI / 3dimentional mold mask |
| キーワード(4)（和/英） | 偏光無依存 / SU-8 |
| キーワード(5)（和/英） | ポリマー導波路型波長フィルター / PMGI |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橋本 隆文 / Takafumi HASHIMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 謝 楠 / Xie NAN |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水野 潤 / Jun MIZUNO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学ナノ理工学研究機構 Waseda University Institute for Nanoscience and Nanotechnology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 森 弘明 / Hirotoshi MORI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 立崎 卓也 / Takuya TATSUZAKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 宇高 勝之 / Katsuyuki UTAKA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 発表年月日 | 2010/6/18 |
| 資料番号 | LQE2010-21,OPE2010-19 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 103 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |