講演名 2009-11-19
Ga_xIn_<1-x>As多結晶薄膜の電気的光学的特性(窒化物及び混晶半導体デバイス)
鳥居 義親, 奥迫 拓也, 高見 慎也, 梶川 靖友,
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抄録(和) 分子線蒸着法によりガラス基板上に基板温度240℃及び350℃でGa組成x=0~1のGa_xIn_<1-x>As多結晶を約1μm成長させた.100~390Kでのホール効果測定の結果,電子濃度は,x≦0.30の試料では測定温度にほとんど依存しなかったが,x≧0.36の試料では測定温度の低下とともに減少した.電子移動度も,Ga組成x≦0.21の試料では測定温度にほとんど依存しなかったが,x≧0.3の試料では測定温度の低下とともに減少した.電子濃度の温度依存性は2種類のドナー準位が存在するとして説明され,電子移動度の温度依存性は粒界障壁をこえる熱電子放出によって説明される.また,透過スペクトルを測定し,吸収係数と光学的バンドギャップを求めた.x≦0.44の試料に対してはBurstein-Mossシフトを考慮し,x≦0.30の試料に対しては粒界障壁による量子閉じ込め効果を考慮することにより,光学的バンドギャップのGa組成依存性が説明できた.
抄録(英) Polycrystalline Ga_xIn_<1-x>As films having Ga contents of x=0-1 and the thickness of about 1μm were grown on glass substrates at 240 and 350℃ by molecular-beam deposition. Hall-effect measurements at 100-390K revealed that the electron concentration of the samples having Ga contents of x≦0.30 was almost independent of the measurement temperature, while that of the samples having x≧0.36 decreased with decreasing temperature. The electron mobility of the samples having Ga contents of x≦0.21 was almost independent of the measurement temperature, while that of the samples having x≧0.30 decreased with decreasing temperature. The temperature dependence of electron concentration is explained assuming the existence of two donor levels. The temperature dependence of electron mobility is explained in terms of thermionic electron emission over the grain-boundary barriers. In addition, optical transmission measurements were performed in order to investigate the absorption coefficient and the optical band gap. The dependence of the optical band gap on the Ga content can be explained by taking into account the Burstein-Moss shift for samples having x≦0.44, and the quantum confinement effect due to the grain-boundary barriers for the samples having x≦0.30.
キーワード(和) 半導体混晶多結晶 / ホール効果測定 / 粒界ポテンシャル障壁 / 光学的バンドギャップ / Burstein-Mossシフト / 量子閉じ込め効果
キーワード(英) semiconductor alloy polycrystal / Hall-effect measurement / grain-boundary potential barrier / optical band gap / Burstein-Moss shift / quantum confinement effect
資料番号 ED2009-139,CPM2009-113,LQE2009-118
発行日

研究会情報
研究会 LQE
開催期間 2009/11/12(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Lasers and Quantum Electronics (LQE)
本文の言語 JPN
タイトル(和) Ga_xIn_<1-x>As多結晶薄膜の電気的光学的特性(窒化物及び混晶半導体デバイス)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Electrical and optical properties of polycrystalline Ga_xIn_<1-x>As thin films
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 半導体混晶多結晶 / semiconductor alloy polycrystal
キーワード(2)(和/英) ホール効果測定 / Hall-effect measurement
キーワード(3)(和/英) 粒界ポテンシャル障壁 / grain-boundary potential barrier
キーワード(4)(和/英) 光学的バンドギャップ / optical band gap
キーワード(5)(和/英) Burstein-Mossシフト / Burstein-Moss shift
キーワード(6)(和/英) 量子閉じ込め効果 / quantum confinement effect
第 1 著者 氏名(和/英) 鳥居 義親 / Yoshichika TORII
第 1 著者 所属(和/英) 島根大学大学院総合理工学専攻
Interdisciplinary Graduete School of Science and Engineering, Shimane University
第 2 著者 氏名(和/英) 奥迫 拓也 / Takuya OKUZAKO
第 2 著者 所属(和/英) 島根大学大学院総合理工学専攻
Interdisciplinary Graduete School of Science and Engineering, Shimane University
第 3 著者 氏名(和/英) 高見 慎也 / Shin-ya TAKAMI
第 3 著者 所属(和/英) 島根大学大学院総合理工学専攻
Interdisciplinary Graduete School of Science and Engineering, Shimane University
第 4 著者 氏名(和/英) 梶川 靖友 / Yasutomo KAJIKAWA
第 4 著者 所属(和/英) 島根大学大学院総合理工学専攻
Interdisciplinary Graduete School of Science and Engineering, Shimane University
発表年月日 2009-11-19
資料番号 ED2009-139,CPM2009-113,LQE2009-118
巻番号(vol) vol.109
号番号(no) 290
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
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