| 講演名 | 2009-10-09 量産性を考慮した強誘電体高密度記録用多結晶薄膜記録媒体(固体メモリ及び一般) 藤本 健二郎, 河野 高博, 尾上 篤, 田村 正裕, 梅田 優, 都田 昌之, |
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| 抄録(和) | 強誘電体高密度記録の実用化を目的として,多結晶Pb(Zr,,Ti)O_3(PZT)薄膜記録媒体を量産性の見込めるプロセスにより作製し,その記録媒体に対し実験的に記録密度1Tbit/in^2での高密度記録を行うことに成功した.基板としてSiウェハを,下部電極としてSrRuO_3(SRO)薄膜を用い,その上へ結晶性の良い多結晶PZT薄膜を溶液気化有機金属気相成長法(LD-MOCVD)により成膜した.PZT薄膜の表面を化学機械研磨(CMP)により平滑化しその表面粗さを1nm(RMS)以下とした.このPZT薄膜に対しドメインの反転実験を行った結果,非常に制御性良く微細なドメインの反転が行えることを確認し,この薄膜が超高密度強誘電体記録の量産可能な記録媒体として有望であることを示した. |
| 抄録(英) | We demonstrate very-high-density ferroelectric recording experiments of 1Tbit/in^2 in polycrystalline Pb(Zr,Ti) O_3 (PZT) thin film for the first time. A high-quality polycrystalline PZT thin film was successfully deposited on a silicon substrate with a SrRuO_3 (SRO) electrode by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) technique. The roughness of the PZT film was reduced to less than 1nm by chemical mechanical polishing (CMP) method. The PZT film has a very high controllability for domain inversion. Our fabrication process also enables high productivity. Therefore, our PZT film has potential to be a mass-productive ferroelectric recording medium for high-density storage systems. |
| キーワード(和) | 強誘電体薄膜 / 高密度記録 / 記録媒体 |
| キーワード(英) | Ferroelectric thin film / high-density recording / recording medium |
| 資料番号 | MR2009-25 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MR |
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| 開催期間 | 2009/10/1(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Magnetic Recording (MR) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 量産性を考慮した強誘電体高密度記録用多結晶薄膜記録媒体(固体メモリ及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-Density Recording in Mass-Productive Polycrystalline Ferroelectric Thin Film Media |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 強誘電体薄膜 / Ferroelectric thin film |
| キーワード(2)（和/英） | 高密度記録 / high-density recording |
| キーワード(3)（和/英） | 記録媒体 / recording medium |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤本 健二郎 / Kenjiro Fujimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社技術開発本部 Corporate R & D, Pioneer Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 河野 高博 / Takahiro KAWANO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社技術開発本部 Corporate R & D, Pioneer Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 尾上 篤 / Atsushi ONOE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社技術開発本部 Corporate R & D, Pioneer Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田村 正裕 / Masahiro TAMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社天谷製作所 AMAYA Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 梅田 優 / Masaru UMEDA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 株式会社ワコム研究所 Wacom R & D Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 都田 昌之 / Masayuki TODA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社ワコム研究所 Wacom R & D Corporation |
| 発表年月日 | 2009-10-09 |
| 資料番号 | MR2009-25 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 222 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |