講演名 2009-11-13
SOI導波路基板上へのLDチップ実装方法に関する検討(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般)
阿部 政浩, 宮村 悟史, 中村 幸治, 北 智洋, 大寺 康夫, 山田 博仁,
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抄録(和) SOI光集積プラットフォーム上に,半導体レーザ(LD)やフォトダイオード(PD)を集積化する技術が求められている.本論文では,SOI光集積プラットフォーム上へのLDの実装方法およびSi細線光導波路とLDとの低損失結合方法について理論的および実験的に検討した.検討した構造としては,LDをSOI光集積プラットフォーム上へフリップチップ実装し,スポットサイズ変換器を設けたSi細線光導波路とButt-joint結合させる方法である.解析では,2dB程度の最小光結合損失が得られることが分かり,光結合損失の測定結果と比較することで,解析の妥当性を示す.また,チップ実装時の位置ずれに対しても,十分なトレランスを有することが分かった.
抄録(英) Integration technique of laser diodes or photodiodes on Si substrates with SOI optical waveguides is required for realizing future opto-electronic integrated circuits. In this paper, we propose a mounting method of LD chips on the substrate and discuss about the optical coupling loss between LDs and Si photonic-wire waveguides. In the method, light output from LDs is butt joint coupled to the optical waveguides with spot-size-converters. As a result of calculation, we found that about 2dB of minimum optical coupling loss can be attained and the method has enough tolerance for the misalignment of LD chip. We also compared with measured optical coupling loss and confirmed the validity of the calculation.
キーワード(和) SOI / 光-電子集積回路 / Si細線光導波路 / 半導体レーザ / スポットサイズ変換器
キーワード(英) Silicon-on-insulator / Opto-electronic integrated circuit / Silicon photonic-wire waveguide / Laser diode / Spot-size-converter
資料番号 OME2009-63,OPE2009-158
発行日

研究会情報
研究会 OME
開催期間 2009/11/6(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Organic Material Electronics (OME)
本文の言語 JPN
タイトル(和) SOI導波路基板上へのLDチップ実装方法に関する検討(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Study of optical coupling between Si photonic-wire waveguides and laser diode on SOI
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) SOI / Silicon-on-insulator
キーワード(2)(和/英) 光-電子集積回路 / Opto-electronic integrated circuit
キーワード(3)(和/英) Si細線光導波路 / Silicon photonic-wire waveguide
キーワード(4)(和/英) 半導体レーザ / Laser diode
キーワード(5)(和/英) スポットサイズ変換器 / Spot-size-converter
第 1 著者 氏名(和/英) 阿部 政浩 / Masahiro ABE
第 1 著者 所属(和/英) 東北大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Tohoku University
第 2 著者 氏名(和/英) 宮村 悟史 / Satoshi MIYAMURA
第 2 著者 所属(和/英) 沖電気工業株式会社
Oki Electric Industry Co., Ltd.
第 3 著者 氏名(和/英) 中村 幸治 / Koji NAKAMURA
第 3 著者 所属(和/英) 沖電気工業株式会社
Oki Electric Industry Co., Ltd.
第 4 著者 氏名(和/英) 北 智洋 / Tomohiro KITA
第 4 著者 所属(和/英) 東北大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Tohoku University
第 5 著者 氏名(和/英) 大寺 康夫 / Yasuo OHTERA
第 5 著者 所属(和/英) 東北大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Tohoku University
第 6 著者 氏名(和/英) 山田 博仁 / Hirohito YAMADA
第 6 著者 所属(和/英) 東北大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Tohoku University
発表年月日 2009-11-13
資料番号 OME2009-63,OPE2009-158
巻番号(vol) vol.109
号番号(no) 283
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日