| 講演名 | 2009-10-23 アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告)) 榊原 陽一, 亀井 利浩, 糸賀 恵美子, 岡野 誠, 金高 健二, 庄司 雄哉, 森 雅彦, |
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| 抄録(和) | アモルファスシリコンは、薄膜堆積を繰り返すことで、立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では、水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し、i線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し、アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。 |
| 抄録(英) | With repeated depositions of amorphous silicon thin layers three-dimensional optical wiring is possible in principle. In this work we investigated the optical properties of the hydrogenated amorphous thin film at the optical telecommunication wavelengths from optical absorption and refractive index. We also investigated the fabrication ability of wire waveguides made of the amorphous silicon with an i-line stepper and a vertical directional coupler. |
| キーワード(和) | アモルファスシリコン / 導波路 / 積層型方向性結合器 |
| キーワード(英) | Amorphous Silicon / Waveguide / Vertical Directional Coupler |
| 資料番号 | OCS2009-66,OPE2009-132,LQE2009-91 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
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| 開催期間 | 2009/10/15(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Vertical Directional Coupler Made of Amorphous Silicon Waveguides |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | アモルファスシリコン / Amorphous Silicon |
| キーワード(2)（和/英） | 導波路 / Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 積層型方向性結合器 / Vertical Directional Coupler |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 榊原 陽一 / Youichi SAKAKIBARA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, AIST |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 亀井 利浩 / Toshihiro KAMEI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門 Nanoelectronics Research Institute, AIST |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 糸賀 恵美子 / Emiko ITOGA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, AIST |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡野 誠 / Makoto OKANO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, AIST |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 金高 健二 / Kenji KINTAKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, AIST |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 庄司 雄哉 / Yuya SHOJI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター Network Photonics Research Center, AIST |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 森 雅彦 / Masahiko MORI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, AIST |
| 発表年月日 | 2009-10-23 |
| 資料番号 | OCS2009-66,OPE2009-132,LQE2009-91 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 243 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |