| 講演名 | 2009-09-04 半導体素子レベル低ノイズ化を目的としたオンチップ伝送線路における磁性薄膜電磁ノイズ抑制体の基礎特性評価(EMC一般) 室賀 翔, 遠藤 恭, 鈴木 充, 稲垣 孝嘉, 三束 芳央, 山口 正洋, |
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| 抄録(和) | チップ上の電源配線を想定し,SOI-CMOSプロセスにより線幅10μm程度のコプレーナ伝送線路とマイクロストリップ線路を形成し,膜厚が0.5μmのCoZrNb磁性薄膜を製膜し,電磁ノイズ抑制体として十分な損失が得られるかを検討した.その寸法は膜長が1.91mm,膜幅が0.86mmであり,我々の既報に比べて1/35まで小面積かつ1/8まで膜長を短縮した.磁性薄膜をコプレーナ伝送線路上においた場合は7GHzで37%,マイクロストリップ線路上に置いた場合は5.4GHzで17%と,既報と比較して大きなノイズ抑制効果を得た.その結果,我々の既報に比べて1/35まで小面積かつ1/8まで膜長を短縮した磁性薄膜を用いて,十分なノイズ抑制効果を得た. |
| 抄録(英) | The noise suppression on the transmission line, fabricated in a 0.15μm five metals SOI-CMOS technology with high resistivity substrate, has been demonstrated using the CoZrNb soft magnetic film. The power loss of 37% was obtained at the frequency of 7GHz in coplanar line with film and 17% was obtained at the frequency of 5.4GHz in microstrip line with film. As a result, a large loss was obtained by short length of the transmission line. |
| キーワード(和) | 薄膜電磁ノイズ抑制体 / 強磁性薄膜 / EMC |
| キーワード(英) | Thin Film RF Noise Suppressor / Ferromagnetic Film / EMC |
| 資料番号 | EMCJ2009-36 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMCJ |
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| 開催期間 | 2009/8/28(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromagnetic Compatibility (EMCJ) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 半導体素子レベル低ノイズ化を目的としたオンチップ伝送線路における磁性薄膜電磁ノイズ抑制体の基礎特性評価(EMC一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of Ferromagnetic Thin Film RF Noise Suppressor applied to On-Chip Transmission Lines for the Purpose of Noise Suppression in Semiconductor Devices |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜電磁ノイズ抑制体 / Thin Film RF Noise Suppressor |
| キーワード(2)（和/英） | 強磁性薄膜 / Ferromagnetic Film |
| キーワード(3)（和/英） | EMC / EMC |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 室賀 翔 / Sho Muroga |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 遠藤 恭 / Yasushi Endo |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鈴木 充 / Mitsuru Suzuki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 稲垣 孝嘉 / Takayoshi Inagaki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 三束 芳央 / Yoshio Mitsuzuka |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山口 正洋 / Masahiro Yamaguchi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科 School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2009-09-04 |
| 資料番号 | EMCJ2009-36 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 185 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |