| 講演名 | 2009-09-30 LFB/PW超音波材料解析システムを用いたZnO単結晶の音響特性の測定 高麗 友輔, 吉田 翔, 大橋 雄二, 荒川 元孝, 櫛引 淳一, 坂上 登, |
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| 抄録(和) | 抵抗率分布のあるZ-cut ZnO単結晶板試料に対して、直線集束ビーム/平面波(LFB/PW)超音波材料解析(UMC)システムを用いて、漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定による試料表面の抵抗率評価と、厚さ方向の縦波音響特性の測定を行った。LSAW速度測定では、用意した試料の-Z面側でわずかな速度低下を検出し、結晶内部の特性が反映される縦波伝搬特性では、電気的特性(抵抗率)の変化に伴う誘電緩和による速度分散と減衰係数の変化が捉えられた。わずかに低抵抗の領域が存在すると考えられる-Z面側を研磨により約0.5mm除去し、再度、LSAW速度測定および縦波伝搬特性測定を行ったところ、+Z面と一致するLSAW速度が得られ、縦波音速はほぼ分散のない高抵抗領域と考えられる実験結果が得られた。-Z面側の除去後の試料と除去層の抵抗率1/σ_<33>を、縦波伝搬特性の測定値から見積ったところ、前者は約2×10^4Ωm、後者は約2×10^2Ωmを中心に2×10^4Ωm以下の抵抗率において分布のある構造であった。この結果は、LSAW伝搬特性を用いた抵抗率評価法の確立に有用な情報となる。 |
| 抄録(英) | We evaluated longitudinal-wave propagation characteristics for a Z-cut ZnO single crystal plate specimen with some resistivity distribution, together with leaky surface acoustic wave (LSAW) velocities measured for evaluation of the resistivities on the specimen surfaces using a line-focus-beam/plane-wave (LFB/PW) ultrasonic material characterization (UMC) system. A slight decrease of LSAW velocities was observed on -Z-plane of the specimen prepared. The corresponding longitudinal-wave propagation characteristics exhibited significant velocity dispersion and attenuation variation associated with distribution of electrical property (resistivity). We removed the -Z face of the specimen by about 0.5mm, in which slightly conductive region should exist, then we measured again LSAW velocities and longitudinal-wave propagation characteristics, resulting in the same LSAW velocities on the -Z-plane surface as those on +Z-plane surface with the high velocity and non-dispersive velocities of longitudinal waves. From the measured longitudinal-wave propagation characteristics, we estimated that the resistivity (1/σ_<33>) of the specimen was about 2×10^4Ωm after removal of the -Z face and those for the removed layer distributed in a range of 2×10^2Ωm to less than 2×10^4Ωm. This demonstration will be useful for establishing our resistivity evaluation method using the LSAW propagation characteristics. |
| キーワード(和) | ZnO単結晶 / 抵抗率 / 誘電緩和 / 直線集束ビーム/平面波超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / 縦波音速 / 減衰係数 |
| キーワード(英) | ZnO single crystal / resistivity / dielectric relaxation / line-focus-beam/plane-wave ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave velocity / longitudinal wave velocity / attenuation coefficient |
| 資料番号 | US2009-52 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2009/9/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | LFB/PW超音波材料解析システムを用いたZnO単結晶の音響特性の測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurements of Acoustical Properties of ZnO Single Crystals by the LFB/PW Ultrasonic Material Characterization System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO単結晶 / ZnO single crystal |
| キーワード(2)（和/英） | 抵抗率 / resistivity |
| キーワード(3)（和/英） | 誘電緩和 / dielectric relaxation |
| キーワード(4)（和/英） | 直線集束ビーム/平面波超音波材料解析システム / line-focus-beam/plane-wave ultrasonic material characterization system |
| キーワード(5)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(6)（和/英） | 縦波音速 / longitudinal wave velocity |
| キーワード(7)（和/英） | 減衰係数 / attenuation coefficient |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高麗 友輔 / Yuusuke KOURAI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 吉田 翔 / Sho YOSHIDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大橋 雄二 / Yuji OHASHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 荒川 元孝 / Mototaka ARAKAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi KUSHIBIKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 坂上 登 / Noboru SAKAGAMI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2009-09-30 |
| 資料番号 | US2009-52 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 213 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |