| 講演名 | 2009-09-29 PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上 黒澤 実, 笹沼 健史, |
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| 抄録(和) | マイクロ超音波メス用の振動子の振動速度限界となっている要因を探るために圧電駆動部と振動変位拡大ホーン部を分離した形状の振動子を試作し検討した。試作した超音波振動子の寸法は,長さ18.44mm,太端の幅2.7mm,先端部の幅0.6mmで,厚さは約0.3mmおよび0.4mmである。振動子全体の形状は半波長の圧電駆動部に半波長の段付きホーンになっており,変成比は3.5である。縦振動の共振周波数はおよそ280kHzで動作した。駆動に用いた圧電材料は水熱合成法により成膜したPZT膜で,厚さは約20μmであった。基板材料に0.4mm厚の純チタンおよびチタン合金を用いたデバイスで,ホーン先端での振動速度は駆動電圧40V_ |
| 抄録(英) | To investigate a factor which limits the maximum vibration velocity of a transducer for a micro ultrasonic scalpel, newly designed vibrators have been fabricated. The ultrasonic transducers were 18.44mm long and 2.7mm wide. The transducers had half wave length piezo driving part and half wave length horn part to amplify vibration velocity 3.5 times; tip of the horn is 0.6mm wide. The scalpel operated at the resonance frequency in longitudinal mode of around 280kHz. The piezoelectric material was 20μm thick lead zirconate titanate (PZT) that was deposited by the hydrothermal method. The vibration velocity at the tip of the horn in longitudinal direction was 7m/s with 40V_ |
| キーワード(和) | マイクロアクチュエータ / 超音波メス / PZT膜 / 水熱法 / マイクロマシン |
| キーワード(英) | Micro actuator / Ultrasonic scalpel / PZT film / Hydrothermal deposition / MEMS |
| 資料番号 | US2009-43 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2009/9/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | PZT膜を用いたマイクロ超音波メス用振動子の振動速度向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Enhancement of Vibration Amplitude of Micro Ultrasonic Scalpel using PZT Film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロアクチュエータ / Micro actuator |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波メス / Ultrasonic scalpel |
| キーワード(3)（和/英） | PZT膜 / PZT film |
| キーワード(4)（和/英） | 水熱法 / Hydrothermal deposition |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロマシン / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 黒澤 実 / KUROSAWA Minoru Kuribayashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学総合理工学研究科 Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 笹沼 健史 / Takeshi SASANUMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学総合理工学研究科 Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2009-09-29 |
| 資料番号 | US2009-43 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 213 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |