| 講演名 | 2009-08-21 スパッタリング法によるErドープTaO_x薄膜の作製とその発光特性(光部品・電子デバイス実装技術,一般) 三浦 健太, 狩野 一総, 伏木 厳穣, シン マヤンク, 花泉 修, |
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| 抄録(和) | rfスパッタリングによりErドープTaO_x薄膜を成膜し,アニール後,波長550nm及び670nm付近の2つの発光ピークが発現することを確認した.他の手法で作製されたErドープTaO_xと同様,波長550nm付近の発光ピークが優勢であり,肉眼では緑色発光として観察することができた.更に,Er濃度0.96mol%程度,アニール温度900℃,アニール時間20分とした場合が,波長550nm付近のピーク強度が最大となることがわかった. |
| 抄録(英) | Er-doped TaO_x films were prepared by using rf magnetron sputtering. Visible photoluminescence was obtained from the films after annealing under excitation with a He-Cd laser (λ=325nm). Two peaks having wavelengths around 550nm and 670nm were observed from the films annealed at 800-1100℃. The strongest intensity of the 550-nm (green) peak was obtained from the film with 0.96mol% of Er concentration after annealing at 900℃ for 20min. Such sputtered films which emit visible light can be useful as high-index materials for novel active devices using autocloned photonic crystals. |
| キーワード(和) | TaO_x / Er / スパッタリング / アニール / 可視発光 |
| キーワード(英) | TaO_x / Er / Sputtering / Annealing / Visible-light Emission |
| 資料番号 | EMD2009-53,CPM2009-77,OPE2009-101,LQE2009-60 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2009/8/13(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタリング法によるErドープTaO_x薄膜の作製とその発光特性(光部品・電子デバイス実装技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Light-emitting properties of Er-doped TaO_x thin films fabricated by using rf sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | TaO_x / TaO_x |
| キーワード(2)（和/英） | Er / Er |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタリング / Sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | アニール / Annealing |
| キーワード(5)（和/英） | 可視発光 / Visible-light Emission |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三浦 健太 / Kenta MIURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 狩野 一総 / Kazusa KANO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 伏木 厳穣 / Genjyo FUSEGI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | シン マヤンク / Mayank SINGH |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 発表年月日 | 2009-08-21 |
| 資料番号 | EMD2009-53,CPM2009-77,OPE2009-101,LQE2009-60 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 176 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |