| 講演名 | 2009-08-11 4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル 野毛 悟, 宇野 武彦, 安井 寛治, |
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| 抄録(和) | 4価元素を添加した石英(SiO_2ガラス)薄膜では,分極に伴う圧電性や焦電性の発現のほか,紫外光照射による可視光のルミネセンスが観測されている.筆者らは,石英薄膜にドープする4価元素と発光色に関する検討を行った.さらに発光特性の改善等を図るため,ドープ元素を複合化(2種類以上のドーパントを同時スパッタして薄膜を形成)した場合の発光について,紫外線の吸収や可視光スペクトルについて実験的な検討を行った.膜形成にはRFマグネトロンスパッタリング法を用いた.シリカ板ターゲット上に,ゲルマニウム,チタンおよび二酸化スズ等のペレットを適当量配置した.254nmの紫外光を照射すると,それぞれ青,薄青,橙の発光を示した.これらのことから,石英薄膜をベースとした4価元素ドープによるシリカ薄膜は新しい光デバイスの材料として期待できる. |
| 抄録(英) | We measured the visible luminescence, under various conditions, of three different tetravalent metal doping silica based thin films on a silica substrate. The films were made up of Ge:SiO_2, Ti:SiO_2 and Sn:SiO_2. The film thickness of these samples was about 2μm. We used UV irradiation (wavelength: 254nm) to cause the luminescence. The luminescent color changed depending on the doping material. The luminescence colors by UV irradiation were blue, pale-blue, and pale orange, for Ge:SiO_2, Ti:SiO_2, and Sn:SiO_2 films, respectively. Further investigation of the silica based film of tetravalent metal doping will likely lead to a new optical material. |
| キーワード(和) | シリカ / 薄膜 / ルミネセンス / 可視光スペクトル / 紫外光 |
| キーワード(英) | Silica / Thin film / Visible luminescence / Spectrum / UV |
| 資料番号 | CPM2009-47 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2009/8/3(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Visible Part of The Spectrum for the Silica Film with Tetravalent Metal Dopants |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリカ / Silica |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / Thin film |
| キーワード(3)（和/英） | ルミネセンス / Visible luminescence |
| キーワード(4)（和/英） | 可視光スペクトル / Spectrum |
| キーワード(5)（和/英） | 紫外光 / UV |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru NOGE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 沼津工業高等専門学校 Numazu Nation. College of Tech. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko UNO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学 Kanagawa Inst. of Tech. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安井 寛治 / Kanji YASUI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 Nagaoka Univ. of Tech. |
| 発表年月日 | 2009-08-11 |
| 資料番号 | CPM2009-47 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 171 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |