| 講演名 | 2009-08-10 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 遲澤 遼一, 中澤 日出樹, 奥崎 知秀, 佐藤 直之, 遠田 義晴, 末光 眞希, |
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| 抄録(和) | KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-like carbon;DLC)膜を作製し、原子状水素を照射して膜表面の化学結合・電子状態および構造の変化を調べた。膜表面の化学結合・電子状態および構造は、それぞれシンクロトロン放射光を用いた光電子分光(photoelectron spectroscopy;PES)およびラマン分光により調べた。C 1sおよび価電子帯PESスペクトルから、原子状水素の照射時間の増加に伴い基板温度400℃では膜表面のsp^3成分は増加し、700℃ではsp^3成分は減少することがわかった。また、400℃においても表面近傍の膜内部ではsp^2炭素のクラスタリングが進行していることがわかった。 |
| 抄録(英) | We have deposited diamond-like carbon (DLC) films on Si substrate by pulsed laser deposition using KrF excimer laser, and investigated the effects of atomic-hydrogen irradiation on the chemical bonding and electronic states and the structure of the films by photoelectron spectroscopy (PES) using synchrotron radiation and Raman spectroscopy. The fraction of sp^3 bonds at the film surface, as evaluated from C1s and valence-band PES spectra, increased at a substrate temperature of 400℃ with increasing atomic-hydrogen exposure time, whereas the sp^3 fraction decreased at 700℃ with the exposure time. The Raman spectrum for the film exposed to atomic hydrogen at 400℃ showed that the clustering of sp^2 carbon progressed inside near the surface at such a low temperature. |
| キーワード(和) | ダイヤモンドライクカーボン / 光電子分光法 / 原子状水素 |
| キーワード(英) | Diamond-like carbon / Photoelectron spectroscopy / Atomic hydrogen |
| 資料番号 | CPM2009-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2009/8/3(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Changes in Chemical Bonding States of Diamond-Like Carbon Films by Atomic Hydrogen Irradiation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンドライクカーボン / Diamond-like carbon |
| キーワード(2)（和/英） | 光電子分光法 / Photoelectron spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | 原子状水素 / Atomic hydrogen |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 遲澤 遼一 / Ryoichi OSOZAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 弘前大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Hirosaki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中澤 日出樹 / Hideki NAKAZAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 弘前大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Hirosaki University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 奥崎 知秀 / Tomohide OKUZAKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 弘前大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Hirosaki University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐藤 直之 / Naoyuki SATOH |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 弘前大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Hirosaki University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 遠田 義晴 / Yoshiharu ENTA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 弘前大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Hirosaki University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 末光 眞希 / Maki SUEMITSU |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2009-08-10 |
| 資料番号 | CPM2009-37 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 171 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |