| 講演名 | 2009-06-19 MEMSを位相制御器としたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の検討(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング) 稲本 慎, 丸山 武男, 飯山 宏一, |
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| 抄録(和) | Si光導波路を用いたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の位相制御器は、一般的に熱光学効果を用いているが、消費電力が大きいという問題が生じている。そこで光スイッチ素子の位相制御器として、MEMS位相制御器を提案する。MEMS位相制御器はエアブリッジ導波路を備えており、電圧印加により導波路をたわませることで導波路長を伸張させるしくみを持つ。構造上、定常電流が流れないため、低消費電力化が期待できる。MEMS位相制御器の動作について、平行平板電極モデルを用いて解析を行った。この解析により、電圧100Vで1段当たり70nmの伸張が可能となり、7段縦続することで光スイッチングが可能となることを明らかにした。 |
| 抄録(英) | We proposed and simulated the novel type Mach-Zehnder interferometric optical switching device using MEMS phase shifter. The phase shifter has an air-bridge waveguide and is able to stretch the length of the waveguide by applied voltage. As the analytical result, the amount of stretch length is 70nm at the applied voltage of 100V. The π-shift is achieved using cascade connections of 7 shifters. This switching device is very promising for the realization of low power consumption photonic integrated circuits. |
| キーワード(和) | 光スイッチ / マッハ・ツェンダ干渉 / マイクロマシン / Si細線導波路 |
| キーワード(英) | Optical switch / Mach-Zehnder interferometer / Micro-electro mechanical systems / Si wire waveguide |
| 資料番号 | OPE2009-23,LQE2009-26 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2009/6/12(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MEMSを位相制御器としたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の検討(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mach-Zehnder type optical switch using MEMS phase shifter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / Optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | マッハ・ツェンダ干渉 / Mach-Zehnder interferometer |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロマシン / Micro-electro mechanical systems |
| キーワード(4)（和/英） | Si細線導波路 / Si wire waveguide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 稲本 慎 / Makoto INAMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 金沢大学理工研究域 Faculty of Engineering, Kanazawa University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 丸山 武男 / Takeo MARUYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 金沢大学理工研究域 Faculty of Engineering, Kanazawa University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 飯山 宏一 / Koichi IIYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 金沢大学理工研究域 Faculty of Engineering, Kanazawa University |
| 発表年月日 | 2009-06-19 |
| 資料番号 | OPE2009-23,LQE2009-26 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 93 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |