| 講演名 | 2009-06-19 五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング) 槙野 太郎, 長谷川 亮, 荒川 太郎, 國分 泰雄, |
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| 抄録(和) | InGaAs/InAlAs五層非対称結合量子井戸(FACQW)をコアに持つマイクロリング共振器チューナブル波長フィルタを提案し,その設計および試作を行った.結合効率の柔軟な選択が出来るよう,リング導波路とバスライン導波路との結合部はエッチングをコアの途中で止める方向性結合型を採用した.共振波長間隔(FSR)が3.65nm,半値全幅(FWHM)が0.32nmのフィルタ特性を得るために,結合効率Kを0.221とした.その時のリングの周回損失α_tは0.89dB/roundと見積もられる.理論波長チューニング特性を計算したところ,FACQWの電界屈折率効果の屈折率変化による共振波長シフトは印加電圧2.2Vで0.83nmと予想された.設計した波長フィルタを2段階のドライエッチングプロセスを用いて試作した.透過特性から結合効率,周回損失を求めると,K=0.155,α_t=1.884dB/roundとなった.結合効率の設計値からのずれは,結合部の溝のエッチング深さd_eが設計値よりもやや深くなったためと思われる.印加電圧13Vで共振波長シフトは0.9nmであった.期待された動作電圧よりもかなり高かったものの,電圧による波長チューニング特性を得ることに成功した. |
| 抄録(英) | We propose a tunable microring wavelength filter with InGaAs/InAlAs five-layer asymmetric coupled quantum wells (FACQWs) in a waveguide core. The free spectral range (FSR) and a full width at half maximum (FWHM) were designed to be 3.65nm and 0.32nm, respectively. The coupler between a microring and a busline waveguide is a directional coupler with a shallow groove. Tunable filtering characteristics were theoretically analyzed, and it was found that the tuning wavelength of 0.83nm is expected when an applied voltage is 2.2V. The designed tunable wavelength filter was fabricated using molecular beam epitaxy (MBE) and dry etching process. The coupling efficiency K at the directional coupler and loss per round α_t estimated from the experimental transmittance characteristics were 0.155 and 1.88dB/round, respectively. Wavelength tuning was also achieved though the operating voltage is higher than expected. The wavelength tuning of 0.9nm was obtained at 13V. |
| キーワード(和) | マイクロリング共振器 / 量子井戸 / InGaAs / 五層非対称結合量子井戸 / 波長フィルタ / 電界屈折率効果 |
| キーワード(英) | Microring resonator / Quantum Well / InGaAs / Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well / Wavelength filter / Electrorefractive Effect |
| 資料番号 | OPE2009-17,LQE2009-20 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2009/6/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 五層非対称結合量子井戸マイクロリング共振器波長フィルタの試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Five-layer Asymmetric Coupled Quantum Well Microring Resonator Wavelength Filter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロリング共振器 / Microring resonator |
| キーワード(2)（和/英） | 量子井戸 / Quantum Well |
| キーワード(3)（和/英） | InGaAs / InGaAs |
| キーワード(4)（和/英） | 五層非対称結合量子井戸 / Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well |
| キーワード(5)（和/英） | 波長フィルタ / Wavelength filter |
| キーワード(6)（和/英） | 電界屈折率効果 / Electrorefractive Effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 槙野 太郎 / Taro MAKINO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学研究院 Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長谷川 亮 / Ryo HASEGAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学研究院 Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒川 太郎 / Taro ARAKAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学研究院 Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 國分 泰雄 / Yasuo KOKUBUN |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学研究院 Graduate School of Eng., Yokohama National Univ. |
| 発表年月日 | 2009-06-19 |
| 資料番号 | OPE2009-17,LQE2009-20 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 93 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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