| 講演名 | 2009-06-19 エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング) 山口 貴志, 久米 章博, 内田 裕久, 井上 光輝, |
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| 抄録(和) | 本研究は,エアロゾルデポジッション(Aerosol deposition:AD)法を用いて,数μm以上の厚さをもつPLZT[(Pb_<0.91>,La_<0.09>)(Zr_<0.65>,Ti_<0.35>)O_3]膜を組み込んだマイクロキャビティ電気光学(Electro-optic:EO)変調器を形成し,これを空間光変調器(Spatial light modulator:SLM)に応用しようとするものである.PLZT膜を組み込んだマイクロキャビティEO変調器は,電界の印加で光局在波長が変化するので,これを利用した光強度変調ができる.実際,作製した変調器は,PLZT膜に400kV/cmの電界印加によって,光局在波長を約1nmシフトさせることができ,その結果,波長777nmで反射率変化7.2%を得た.このマイクロキャビティEO変調器の上部ITO透明電極をピクセル状にパターン化して,2×2 EOSLMを形成した.400kV/cmの電界を印加することで,ピクセルイメージの反射光輝度変化を確認した. |
| 抄録(英) | In this study, electro-optic (EO) micro-cavity with a PLZT [(Pb_<0.91>,La_<0.09>)(Zr_<0.65>,Ti_<0.35>)O_3] thick film was fabricated by aerosol deposition (AD) method for applications in spatial light modulator (SLM). In the EO micro-cavity using the PLZT film, because a refractive index of the PLZT film is changed by applying an electrical field, an optical thickness of the PLZT film can change. Therefore, the wavelength of center of the localized mode will change, so that transmittance or reflectance of light changes even if wavelength of light is constant. When electric field of 400kV/cm was applied the micro-cavity with the PLZT, the wavelength of center of the localized mode was shifted about 1.0nm at 777nm, and the change of 7.2% in the reflectance was obtained. Furthermore, we tried to fabricate an electro-optic spatial light modulator (EOSLM) with two dimensional 2x2 pixels, which was used the PLZT film deposited by the AD method. When electrical field of 400kV/cm was applied to a pixel of the EOSLM, changes in its reflectance was observed. |
| キーワード(和) | エアロゾルデポジッション法 / PLZT / 電気光学空間光変調器 / マイクロキャビティ |
| キーワード(英) | Aerosol deposition method / PLZT / Electro-optic spatial light modulator / Micro-cavity |
| 資料番号 | EMD2009-16,CPM2009-28,OME2009-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2009/6/12(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of PLZT thick films formed by aerosol deposition method and application for electro-optic spatial light modulator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | エアロゾルデポジッション法 / Aerosol deposition method |
| キーワード(2)（和/英） | PLZT / PLZT |
| キーワード(3)（和/英） | 電気光学空間光変調器 / Electro-optic spatial light modulator |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロキャビティ / Micro-cavity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山口 貴志 / Takashi YAMAGUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 Toyohashi University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 久米 章博 / Akihiro KUME |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 Toyohashi University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 内田 裕久 / Hironaga UCHIDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北工業大学 Touhoku Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 井上 光輝 / Mitsuteru INOUE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 Toyohashi University of Technology |
| 発表年月日 | 2009-06-19 |
| 資料番号 | EMD2009-16,CPM2009-28,OME2009-23 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 89 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |