講演名 | 2009-05-14 RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成への石英円筒の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 細川 貴之, 関川 智士, 以西 雅章, |
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抄録(和) | RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn_2O_4粉末を用い、連続して複数回のスパッタを行った。本研究は、反応性スパッタリング中での、ターゲットの酸化防止法として考案された。ターゲットとシャッター間に石英円筒を設置し、蒸着速度の変化、薄膜結晶性を調べた。石英円筒を使用することにより蒸着速度が増加した。また、XRD測定を行った結果、30分の蒸着でLiMn_2O_4薄膜が生成できた。 |
抄録(英) | The LiMn_2O_4 films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. The LiMn_2O_4 powder was used as a target material. This research was aimed at preventing oxidation of target during the reactive sputtering process. A quartz tube was inserted between shutter and target. The deposition rate, XRD were investigated. It was found that the deposition rate has increased because of using a quartz tube. It was also found that the film has a crystallinity of LiMn_2O_4 after 30min deposition. |
キーワード(和) | LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 |
キーワード(英) | LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries |
資料番号 | ED2009-20,CPM2009-10,SDM2009-10 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
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開催期間 | 2009/5/7(から1日開催) |
開催地(和) | |
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講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成への石英円筒の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Effect of quartz tube on crystal properties of LiMn_2O_4 films prepared by RF magnetron sputtering |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
キーワード(2)(和/英) | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
キーワード(3)(和/英) | Li二次電池 / Li secondary batteries |
第 1 著者 氏名(和/英) | 細川 貴之 / Takayuki HOSOKAWA |
第 1 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 関川 智士 / Satoshi SEKIGAWA |
第 2 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 以西 雅章 / Masaaki ISAI |
第 3 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部:静岡大学工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
発表年月日 | 2009-05-14 |
資料番号 | ED2009-20,CPM2009-10,SDM2009-10 |
巻番号(vol) | vol.109 |
号番号(no) | 25 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |