| 講演名 | 2009-05-14 RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成への石英円筒の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 細川 貴之, 関川 智士, 以西 雅章, |
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| 抄録(和) | RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn_2O_4粉末を用い、連続して複数回のスパッタを行った。本研究は、反応性スパッタリング中での、ターゲットの酸化防止法として考案された。ターゲットとシャッター間に石英円筒を設置し、蒸着速度の変化、薄膜結晶性を調べた。石英円筒を使用することにより蒸着速度が増加した。また、XRD測定を行った結果、30分の蒸着でLiMn_2O_4薄膜が生成できた。 |
| 抄録(英) | The LiMn_2O_4 films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. The LiMn_2O_4 powder was used as a target material. This research was aimed at preventing oxidation of target during the reactive sputtering process. A quartz tube was inserted between shutter and target. The deposition rate, XRD were investigated. It was found that the deposition rate has increased because of using a quartz tube. It was also found that the film has a crystallinity of LiMn_2O_4 after 30min deposition. |
| キーワード(和) | LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 |
| キーワード(英) | LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries |
| 資料番号 | ED2009-20,CPM2009-10,SDM2009-10 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2009/5/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成への石英円筒の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of quartz tube on crystal properties of LiMn_2O_4 films prepared by RF magnetron sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 細川 貴之 / Takayuki HOSOKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 関川 智士 / Satoshi SEKIGAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki ISAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部:静岡大学工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2009-05-14 |
| 資料番号 | ED2009-20,CPM2009-10,SDM2009-10 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 23 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |