| 講演名 | 2009-04-17 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般) 碓氷 光男, 内山 真吾, 橋本 悦, 葉玉 恒一, 石井 雄三, 松浦 伸昭, 阪田 知巳, 下山 展弘, 松浦 徹, 下川 房男, |
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| 抄録(和) | 波長選択スイッチ(WSS:Wavelength Selective Switch)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーアレイモジュールを開発した。MEMSミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的な干渉を低減するため、電極構造の最適設計を行った。さらに、MEMSミラーアレイをモジュール化するために必要な、小型気密封止パッケージ構造、および高密度フレキシブル電気インタフェース構造を開発した。これらの技術を適用して試作した50ch-MEMSミラーアレイモジュールの基本特性を評価した結果、設計仕様を満たす良好な回転特性、および電気干渉低減効果を確認した。 |
| 抄録(英) | We developed a new two-axis microelectromechanical-systems (MEMS) mirror array module for wavelength selective switches (WSS). This MEMS mirror array module has a suitable structure for narrow-pitch and high fill-factor. We designed a new electrode structure to reduce electric interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small sealing package and a high density, flexible, electrical interface. We fabricated a 50ch-MEMS mirror array module using these technologies, and confirmed that the module has good characteristics. We also confirmed the electric interference reduction in the fabricated MEMS mirror array module. |
| キーワード(和) | 波長選択スイッチ(WSS) / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 |
| キーワード(英) | Wavelength Selective Switches (WSS) / MEMS / Mirror Array / Electrical Interference / Packaging Technology |
| 資料番号 | R2009-7,CPM2009-7,OPE2009-7 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 2009/4/10(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEMS Mirror Array Module for Wavelength Selective Switches (WSS) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 波長選択スイッチ(WSS) / Wavelength Selective Switches (WSS) |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | ミラーアレイ / Mirror Array |
| キーワード(4)（和/英） | 電気干渉 / Electrical Interference |
| キーワード(5)（和/英） | モジュール化技術 / Packaging Technology |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 碓氷 光男 / Mitsuo USUI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 内山 真吾 / Shingo UCHIYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 橋本 悦 / Etsu HASHIMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 葉玉 恒一 / Koichi HADAMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石井 雄三 / Yuzo ISHII |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 松浦 伸昭 / Nobuaki MATSUURA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 阪田 知巳 / Tomomi SAKATA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 下山 展弘 / Nobihiro SHIMOYAMA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 松浦 徹 / Tohru MATSUURA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 下川 房男 / Fusao SHIMOKAWA |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2009-04-17 |
| 資料番号 | R2009-7,CPM2009-7,OPE2009-7 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | 6 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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