| 講演名 | 2009-01-23 電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成 坪田 敏樹, 濱山 知勇, 村上 直哉, 横野 照尚, 末永 知子, 長畑 博之, |
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| 抄録(和) | 導電性ダイヤモンドを電気接触子に応用することを考えた。導電性CVDダイヤモンド膜をタングステン基板表面に合成した。その試料の表面形態、膜厚、電気抵抗値などを測定した。合成された膜の表面は、凹凸があり、電気接触子に好ましい形状であった。膜厚の合成時間依存性を測定した結果から、ダイヤモンドが析出するまでに炭化物層が形成されていることが示唆される。XRD測定の結果から、析出物にダイヤモンド相が含まれていることが確認できた。押し付けた状態での電気抵抗値を測定した結果、未処理のタングステン基板と同程度かそれ以下の電気抵抗値を示した。今後、更なる詳細な実験が必要である。 |
| 抄録(英) | We try to use electroconductive CVD diamond film as the material for electrical contact. Electroconductive CVD diamond film was synthesized on W plate. Surface morphology, thickness of the deposit, electrical resistance, and so on were measured. The surface morphology should be suitable for electrical contact. Before the deposition of diamond layer, carbide should be synthesized on the substrate. The electrical resistance at pressed condition was measured, and the values were similar to that of W plate, which is the substrate of this CVD process. |
| キーワード(和) | 電気接触子 / ダイヤモンド / コンタクト材料 / テスト工程 |
| キーワード(英) | electrical contact / diamond / contact material / test process |
| 資料番号 | EMD2008-117 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2009/1/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Synthesis of electroconductive diamond film for application as electrical contact |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電気接触子 / electrical contact |
| キーワード(2)（和/英） | ダイヤモンド / diamond |
| キーワード(3)（和/英） | コンタクト材料 / contact material |
| キーワード(4)（和/英） | テスト工程 / test process |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 坪田 敏樹 / Toshiki TSUBOTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州工業大学工学部 Faculty of Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 濱山 知勇 / Tomoo HAMAYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州工業大学工学部 Faculty of Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 村上 直哉 / Naoya MURAKAMI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州工業大学工学部 Faculty of Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 横野 照尚 / Teruhisa OHNO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 九州工業大学工学部 Faculty of Engineering, Kyushu Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 末永 知子 / Tomoko Suenaga |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 熊本県産業技術センター Kumamoto Industrial Research Institute |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 長畑 博之 / Hiroyuki NAGAHATA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | サンユー工業株式会社 Samyu Switch Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2009-01-23 |
| 資料番号 | EMD2008-117 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 404 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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