| 講演名 | 2009-01-29 高温超伝導SQUIDグラジオメータの製作と評価(アナログ応用,一般) 呉松 沙織, 成田 裕一, 関 天放, 孔 祥燕, 糸崎 秀夫, |
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| 抄録(和) | 様々な応用が期待されるSQUIDの高性能化に向け、高温超伝導YBCO(YBa_2Cu_3Q_<7-δ>)薄膜を用いた研究を行っている。今回、周囲環境雑音の低減を期待して平面型グラジオメータを採用した。製作プロセスとしては、SrTiO_3(STO)双晶基板上へのPLD(Pulsed Laser Deposition)法による薄膜蒸着の後、フォトリソグラフィ、Ar^+イオンビームエッチングによりパターニング、微細加工を行った。製作したSQUIDは、電気的特性やノイズ特性等、基本パラメータ評価をした。さらに応用として、今回作成したSQUIDを磁性金属粒子の検出に用いた。今後の製作へ向けての再現性や応用性、さらなる高性能化への改善点を考察する。 |
| 抄録(英) | High-Tc SQUID have been applied in various fields for their high magnetic field sensitivity. In this paper, the first-order planar gradiometer has been designed and fabraicated to reduce the environmental noise. The YBCO film was deposited on the STO bicrystal substrate with pulsed laser deposition (PLD) method. And the pattern was transferred with standard photolithography and Ar^+ ion milling. The electric properties of the planar gradiometer were also evaluated. The magnetic particles were successfully detected with the SQUID gradiometer. The process also needs improvement in the near future. |
| キーワード(和) | SQUID / グラジオメータ / 磁性金属粒子 / 超伝導 |
| キーワード(英) | SQUID / Gradiometer / magnetic particles / superconductor |
| 資料番号 | SCE2008-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2009/1/22(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高温超伝導SQUIDグラジオメータの製作と評価(アナログ応用,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of high-Tc SQUID gradiometer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SQUID / SQUID |
| キーワード(2)（和/英） | グラジオメータ / Gradiometer |
| キーワード(3)（和/英） | 磁性金属粒子 / magnetic particles |
| キーワード(4)（和/英） | 超伝導 / superconductor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 呉松 沙織 / Saori KUREMATSU |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学部 Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 成田 裕一 / Yuichi NARITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学部 Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 関 天放 / Tianfang GUAN |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学部 Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 孔 祥燕 / Xiangyan Kong |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学部 Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 糸崎 秀夫 / Hideo ITOZAKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学部 Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 発表年月日 | 2009-01-29 |
| 資料番号 | SCE2008-37 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 420 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |