| 講演名 | 2008-10-10 MOSFET特性ばらつき、RTSノイズの統計的評価(プロセス科学と新プロセス技術) 藤澤 孝文, 須川 成利, 渡部 俊一, 阿部 健一, 寺本 章伸, 大見 忠弘, |
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| 抄録(和) | MOSFETのばらつきとランダム・テレグラフ・シグナル(RTS)ノイズを抑制するプロセス開発のためには、多数のMOSFETの電気的特性を測定することと、正確にRTSの現象を測定することが必要である。トラップのエネルギーと、トラップとSi/SiO_2界面からの距離を得るためには、RTSの時定数を統計的に正確に抽出することが必要である。本報告では、大規模評価アレイTEGを用いることにより、非常に多数のI_D-V_ |
| 抄録(英) | For the development of processes suppressing the variability of MOSFETs and Random Telegraph Signal (RTS) noise, it is required that a huge number of MOSFET's characteristics are measured and the exact phenomena of RTS are understood. The statistical extraction of the accurate time constant in RTS is useful to obtain the energy level and/or distance between traps and Si/SiO_2 interface. In this paper, we demonstrated that a huge number of MOSFET's I_D-V_ |
| キーワード(和) | MOSFET / ばらつき / ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / 時定数 / トラップ / Test Ebment Group (TEG) |
| キーワード(英) | MOSFET / variability / Random Telegraph Signal (RTS) / time constant / trap / Test Element Group (TEG) |
| 資料番号 | SDM2008-163 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2008/10/2(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOSFET特性ばらつき、RTSノイズの統計的評価(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical evaluation of characteristics variation and RTS noise of MOSFETs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | ばらつき / variability |
| キーワード(3)（和/英） | ランダム・テレグラフ・シグナル(RTS) / Random Telegraph Signal (RTS) |
| キーワード(4)（和/英） | 時定数 / time constant |
| キーワード(5)（和/英） | トラップ / trap |
| キーワード(6)（和/英） | Test Ebment Group (TEG) / Test Element Group (TEG) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤澤 孝文 / Takafumi Fujisawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 渡部 俊一 / Shunichi Watabe |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 阿部 健一 / Kenichi Abe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2008-10-10 |
| 資料番号 | SDM2008-163 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 236 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |