| 講演名 | 2008-10-09 高精度CMP終点検出方法の検討(プロセス科学と新プロセス技術) 谷 クン, 根本 剛直, /, /, 寺本 章伸, 伊藤 隆司, 大見 忠弘, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | Cu/Ta-CMPの終点検出方法としてせん断力と研磨圧力の比であるCOF (Coefficient of Friction)値を検討した。Cu/Ta/SiO_2ダマシン配線において、COF値の変化をIn-Situでモニターし、その周波数特性をFFT (Fast Fourier Transform)解析することにより高精度の終点検出が可能となった。COF値変化の周波数特性は下地基板、回転速度などのウエハー/パッドの接触特性に影響されることがわかった。 |
| 抄録(英) | End-point detection for Cu/Ta-CMP by COF (Coefficient of Friction) was investigated. Monitoring of COF value oscillation frequency by FFT (Fast Fourier Transform) analysis is proposed to be novel method to determine end point for Cu/Ta/SiO_2 damascene interconnects. The changes of oscillation frequency of shear force were affected by contact characteristic between wafer and pad, which depends on substrates and rotation velocity. |
| キーワード(和) | 終点検出方法 / 化学機械研磨 / Fast Fourier Transform |
| キーワード(英) | end-point detection / Chemical mechanical planarization / Fast Fourier Transformation / spectral analysis / oscillation frequency |
| 資料番号 | SDM2008-150 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2008/10/2(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | 高精度CMP終点検出方法の検討(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation of Novel End-point Detection for Ta/Cu CMP |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 終点検出方法 / end-point detection |
| キーワード(2)（和/英） | 化学機械研磨 / Chemical mechanical planarization |
| キーワード(3)（和/英） | Fast Fourier Transform / Fast Fourier Transformation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 谷 クン / Xun Gu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科電子工学専攻 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 根本 剛直 / Takenao Nemoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | / / Ara Philipossian |
| 第 3 著者 所属（和/英） | / University of Arizona:Araca, Inc. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | / / Yasa Adi Sampurno |
| 第 4 著者 所属（和/英） | / University of Arizona:Araca, Inc. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 寺本 章伸 / Jiang Cheng |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター Araca, Inc. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 伊藤 隆司 / Yun Zhuang |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学工学研究科電子工学専攻 University of Arizona:Araca, Inc. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 大見 忠弘 / Akinobu Teramoto |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2008-10-09 |
| 資料番号 | SDM2008-150 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 236 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |