| 講演名 | 2008-10-30 第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化(薄膜プロセス・材料,一般) 大島 穣, 牧野 雄一郎, 片桐 裕則, 新保 和夫, 黒木 雄一郎, 安井 寛治, 高田 雅介, 赤羽 正志, |
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| 抄録(和) | Alドープ酸化亜鉛(AZO)の堆積において第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いることで従来のrfマグネトロンスパッタ法よりも基板面内の均一性が改善することを見出してきた.AZO膜の更なる低抵抗化を目指して,酸化亜鉛(ZnO)中で浅いドナー準位を形成する水素のドーピング効果を調べるためAZO堆積膜に水素プラズマアニールを行った.その結果,水素ドープによるキャリア密度の増加と共にホール移動度の向上に効果があった. |
| 抄録(英) | Improvement of the uniformity in the resistivity of Al doped ZnO (AZO) films has been obtained using a radio frequency (rf) magnetron sputtering with a third electrode. In order to further lower the resistivity of the AZO films, hydrogen doping by the hydrogen plasma annealing was investigated. As a result, the electron density increased. Hall mobility also increased perhaps due to the reduction of the adsorbed oxygen on the grain boundary by the hydrogen annealing. |
| キーワード(和) | AZO / rfマグネトロンスパッタ / 第三電極 / 水素プラズマアニール |
| キーワード(英) | AZO / rf magnetron sputtering / third electrode / hydrogen plasma annealing |
| 資料番号 | CPM2008-78 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2008/10/23(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lowering the resistivity of Al doped ZnO films deposited by a magnetron sputtering with a third electrode |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | AZO / AZO |
| キーワード(2)（和/英） | rfマグネトロンスパッタ / rf magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | 第三電極 / third electrode |
| キーワード(4)（和/英） | 水素プラズマアニール / hydrogen plasma annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大島 穣 / Yutaka Oshima |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 牧野 雄一郎 / Yuichiro Makino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 片桐 裕則 / Hironori Katagiri |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長岡工業高等専門学校 Nagaoka National College of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 新保 和夫 / Kazuo Jinbo |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長岡工業高等専門学校 Nagaoka National College of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 黒木 雄一郎 / Yuichiro Kuroki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 安井 寛治 / Kanji Yasui |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 高田 雅介 / Masasuke Takata |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 赤羽 正志 / Masashi Akahane |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学工学部 Faculty of Engineering Nagaoka University of Technology |
| 発表年月日 | 2008-10-30 |
| 資料番号 | CPM2008-78 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 269 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |