講演名 2008-07-09
A Ta_2O_5 Solid-electrolyte Switch with Improved Reliability(Session3: Emerging Devices I)
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抄録(和)
抄録(英) We present a novel solid-electrolyte switch ("NanoBridge") promising for application to field programmable gate array (FPGA). We replaced a previous solid electrolyte of Cu_2S with Ta_2O_5, which is compatible with a Si process. By using Ta_2O_5, we successfully controlled the turn-on voltage to adapt to CMOS operation. Furthermore, we examined the ON-state reliability of the Ta_2O_5-NanoBridge and found a trade-off between turn-off current and ON-state reliability, both of which depended on the ON conductance. By optimizing the ON conductance, NanoBridge using Ta_2O_5 achieved high durability against current (0.2mA, 105℃, 10 years) and fair turn-off current (5mA). NanoBridge can thus meet the requirements for FPGA applications.
キーワード(和)
キーワード(英) Solid-electrolyte / Electrochemical reaction / Ion diffusion
資料番号 ED2008-52,SDM2008-71
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 2008/7/2(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Ta_2O_5 Solid-electrolyte Switch with Improved Reliability(Session3: Emerging Devices I)
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / Solid-electrolyte
第 1 著者 氏名(和/英) / Naoki BANNO
第 1 著者 所属(和/英)
Device Platforms Research Laboratories, NEC Corporation:Japan Science and Technology Agency
発表年月日 2008-07-09
資料番号 ED2008-52,SDM2008-71
巻番号(vol) vol.108
号番号(no) 121
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日