| 講演名 | 2008-03-13 光電子デバイスのための真空スプレー法による高分子薄膜作製 : スプレービームと製膜初期過程の解析(ポリマー光回路,光機能性材料,一般) 莫 暁亮, 溝黒 登志子, 谷垣 宣孝, 平賀 隆, 梅原 登, 高木 一義, 山本 純夫, |
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| 抄録(和) | 有機薄膜作製技術である真空スプレー法を改良するため,スプレービーム,製膜の初期過程を評価した.真空スプレー法において重要なノズル部分について,ピンホール径の違い(10,20μmの2種)による影響を調べた.真空槽内に噴霧される溶液ミストにレーザー光を照射することでスプレービーム形状を評価した.散乱されたレーザー光をみることでスプレービームの発散角を測定し,送液の圧力との関係を調べた.共役系高分子poly[2-methoxy-5-(2'-ethylhexoxy)-1,4-phenylenevinylene](MEH-PPV)のクロロホルム溶液を基板に対し短時間噴霧し,製膜初期における基板表面におけるMEH-PPVポリマー微粒子の堆積状態を光学顕微鏡および原子間力顕微鏡によって評価した.2種類のピンホール径の違いによりスプレービームの発散角,基板表面に形成される微粒子の形状に大きな違いがあった.10μm径ピンホールを用いた場合,スプレービームの開き角は大きくなり,形成される微粒子のサイズは小さくなり,サイズ分布も均一になった. |
| 抄録(英) | In order to improve the vacuum spray method, we investigated a spray beam and the initial stage of thin-film preparation. As the key parts, two types of pinhole nozzle with diameters of 10 and 20μm were used. The spray solution beam in a vacuum chamber was irradiated with a green laser. By measuring the length of the laser-scattered part, the divergence angle of the spray beam and the relationship between the beam width and pump pressure were investigated. After diluted poly[2-methoxy-5-(2'-ethylhexoxy)-1, 4-phenylenevinylene](MEH-PPV) in a chloroform solution was injected onto the heated substrates in a short time period, the MEH-PPV particles on the substrates were analyzed by optical microscopy and atomic force microscopy. Compared with the nozzle with a pinhole with a diameter of 20μm, the 10-μm-pinhole generated a spray beam with a big divergence angle, and the MEH-PPV particles on the substrate were smaller and more uniform in size. |
| キーワード(和) | 真空スプレー法 / 有機薄膜 / 共役系高分子 / ポリマー微粒子 / ポリ(フェニレンビニレン) |
| キーワード(英) | Vacuum Spray Method / Organic Thin Film / Conjugated Polymers / Polymer Particle / Poly (phenylene vinylene) |
| 資料番号 | OME2007-89 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2008/3/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光電子デバイスのための真空スプレー法による高分子薄膜作製 : スプレービームと製膜初期過程の解析(ポリマー光回路,光機能性材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Polymer Thin Film Preparation by Vacuum Spray Method for Opto-Electronic Devices : Analyses of Spray Beam and Initial Stage of Thin-Film Preparation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 真空スプレー法 / Vacuum Spray Method |
| キーワード(2)（和/英） | 有機薄膜 / Organic Thin Film |
| キーワード(3)（和/英） | 共役系高分子 / Conjugated Polymers |
| キーワード(4)（和/英） | ポリマー微粒子 / Polymer Particle |
| キーワード(5)（和/英） | ポリ(フェニレンビニレン) / Poly (phenylene vinylene) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 莫 暁亮 / Xiaoliang MO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 溝黒 登志子 / Toshiko MIZOKURO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 谷垣 宣孝 / Nobutaka TANIGAKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 平賀 隆 / Takashi HIRAGA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所光技術研究部門 Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 梅原 登 / Noboru UMEHARA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート Technical Support. Co., Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 高木 一義 / Kazuyoshi TAKAGI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート Technical Support. Co., Ltd. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 山本 純夫 / Sumio YAMAMOTO |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 株式会社テクニカルサポート Technical Support. Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2008-03-13 |
| 資料番号 | OME2007-89 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 546 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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