| 講演名 | 2008-05-16 共焦点光学系を利用したサンプル表面の高さ計測システムの試作 長谷川 誠, |
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| 抄録(和) | 卒業研究の一環として、共焦点光学系を用いてサンプル表面の高さの3次元的評価を行うことができる独自のサンプル形状評価システムの構築を進めている。最終的な目標としては、電気接点表面のアーク放電などに伴う損傷状態の数値的な解析・評価に使用することを想定しており、これまでにシステムの基本的な構成ならびに機能を構築した。今回、数ミリオーダから数μmオーダのサンプル表面の高さを実際に測定して、測定の再現性および測定精度の面での実力を確認したところ、再現性に関しては満足な結果が得られた。一方、測定精度に関しては、mmオーダのサンプルでは10%程度の誤差率となったものの、μmオーダのサンプルに対しては非常に大きな誤差を含む結果となった。 |
| 抄録(英) | As an undergraduate research program, an evaluation system for sample shapes is being assembled by utilizing a confocal optical system. A final goal is to use this system for evaluating and investigating damages on electrical contact surfaces caused by arc discharges. Fundamental components were assembled and basic functions were installed up to now. For the purpose of knowing its measurement abilities, heights on some sample surfaces on the order of millimeters to micrometers were actually evaluated with this system. As a result, reproducibility of measurements was satisfactory, and the error rates of about 10% were obtained for the samples on the order of millimeters. However, measured data for the heights on the sample surfaces on the um-order included large errors. |
| キーワード(和) | 共焦点光学系 / 電気接点 / アーク放電 / 消耗 |
| キーワード(英) | Confocal optical system / Electrical contacts / Arc discharge / Erosion |
| 資料番号 | EMD2008-8 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2008/5/9(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 共焦点光学系を利用したサンプル表面の高さ計測システムの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A trial on assembling a height measurement system utilizing a confocal optical system |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 共焦点光学系 / Confocal optical system |
| キーワード(2)（和/英） | 電気接点 / Electrical contacts |
| キーワード(3)（和/英） | アーク放電 / Arc discharge |
| キーワード(4)（和/英） | 消耗 / Erosion |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長谷川 誠 / Makoto HASEGAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千歳科学技術大学総合光科学部 Chitose Institute of Science and Technology |
| 発表年月日 | 2008-05-16 |
| 資料番号 | EMD2008-8 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 41 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |