講演名 2008-05-16
p型GaNゲート ノーマリーオフ型AlGaN/GaN Junction HFETのオン抵抗と耐圧(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
根賀 亮平, 水野 克俊, 岩谷 素顕, 上山 智, 天野 浩, 赤崎 勇,
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抄録(和) 低損失スイッチングデバイスの実現には、ノーマリーオフ型デバイスのオン抵抗低減が必須である。また、実用化のためには耐圧の向上が必要である。p-GaNゲートを有するIII族窒化物半導体ノーマリーオフ型FETの構造変化によるオン抵抗の低減と耐圧のソース・ドレイン間距離依存性を確認した。
抄録(英) This paper reports normally-off mode nitride-based field-effect transistor using p-type gate contact. In order to realize application to power switching devices, it is necessary to reduce on-resistance as well as to keep the breakdown voltage high enough. By changing the device parameters such as source-drain distance, gate length, etc., correlation between on-resistance and breakdown voltage was deduced experimentally.
キーワード(和) AlGaN / GaN / Junction HFET / p-GaNゲート / ノーマリーオフ / 低オン抵抗 / 耐圧
キーワード(英) AlGaN / GaN / Junction HFET / p-type GaN gate / normally-off / low on-resistance / Breakdown Voltage
資料番号 ED2008-13,CPM2008-21,SDM2008-33
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2008/5/8(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) p型GaNゲート ノーマリーオフ型AlGaN/GaN Junction HFETのオン抵抗と耐圧(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
サブタイトル(和)
タイトル(英) On-resistance and Breakdown Voltage of Enhancement-Mode AlGaN/GaN Junction HFET using p-GaN Gate Contact
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) AlGaN / AlGaN
キーワード(2)(和/英) GaN / GaN
キーワード(3)(和/英) Junction HFET / Junction HFET
キーワード(4)(和/英) p-GaNゲート / p-type GaN gate
キーワード(5)(和/英) ノーマリーオフ / normally-off
キーワード(6)(和/英) 低オン抵抗 / low on-resistance
キーワード(7)(和/英) 耐圧 / Breakdown Voltage
第 1 著者 氏名(和/英) 根賀 亮平 / Ryohei Nega
第 1 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 2 著者 氏名(和/英) 水野 克俊 / Katsutoshi Mizuno
第 2 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 3 著者 氏名(和/英) 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya
第 3 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 4 著者 氏名(和/英) 上山 智 / Satoshi Kamiyama
第 4 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 5 著者 氏名(和/英) 天野 浩 / Hiroshi Amano
第 5 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 6 著者 氏名(和/英) 赤崎 勇 / Isamu Akasaki
第 6 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科材料機能工学専攻
Faculty of Science and Technology, Meijo University
発表年月日 2008-05-16
資料番号 ED2008-13,CPM2008-21,SDM2008-33
巻番号(vol) vol.108
号番号(no) 36
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日