| 講演名 | 2008-05-15 ステップアニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 山田 典史, 板倉 巧周, 倉地 雄史, 以西 雅章, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 青色EL素子の高輝度化を目的として、SrS:Cu薄膜を生成し、結晶特性および発光特性の熱処理(ステップアニール)条件依存性を調査した。その結果結晶特性に大きな変化はみられなかったものの、ステップアニールのピーク温度が高いと発光特性が向上することがわかった。 |
| 抄録(英) | The SrS:Cu films have been focused as a blue-emitting electroluminescence (EL) elements. The step-annealing effects on the crystallinity and emission properties of SrS:Cu films were evaluated. It was found that the emission properties were improved under the peak temperature of 500℃. |
| キーワード(和) | 青色El素子 / SrS:Cu薄膜 / ステップアニール / 急速熱処理(RTA) |
| キーワード(英) | Blue Electroluminescence (EL) elements / SrS:Cu films / step-annealing process / Rapid thermal annealing (RTA) |
| 資料番号 | ED2008-3,CPM2008-11,SDM2008-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2008/5/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ステップアニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の評価(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of step-annealed SrS:Cu films for blue EL elements |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色El素子 / Blue Electroluminescence (EL) elements |
| キーワード(2)（和/英） | SrS:Cu薄膜 / SrS:Cu films |
| キーワード(3)（和/英） | ステップアニール / step-annealing process |
| キーワード(4)（和/英） | 急速熱処理(RTA) / Rapid thermal annealing (RTA) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山田 典史 / Norifumi YAMADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 板倉 巧周 / kotochika ITAKURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 倉地 雄史 / Yuji KURACHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki ISAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2008-05-15 |
| 資料番号 | ED2008-3,CPM2008-11,SDM2008-23 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 36 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |