| 講演名 | 2008-05-15 RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 中村 功一, 細川 貴之, 酒井 里, 細江 俊介, 以西 雅章, |
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| 抄録(和) | Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。この物質は材料費が安く、環境への影響も少ないという利点を持つ。本研究はスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成を目指した。LiMn_2O_4粉末をターゲット物質に使用し反応性スパッタリングを行った。反応性スパッタリングは,スパッタガスであるArにO_2ガスを混合し,酸素欠損を補い,科学量論的組成を持つ薄膜を作成する目的で使用した。 |
| 抄録(英) | Manganese oxides have been focused as a cathode material for Li secondary batteries. Preparation of LiMn_2O_4 thin films were tried by using a reactive sputtering method. The reactive sputtering method was used to compensate the oxygen deficiency of LiMn_2O_4 films during sputtering process. It was intended to prepare the LiMn_2O_4 films with stoichiometry. |
| キーワード(和) | Li二次電池 / LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング |
| キーワード(英) | Li secondary batteries / LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering |
| 資料番号 | ED2008-2,CPM2008-10,SDM2008-22 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2008/5/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of LiMn_2O_4 films by RF magnetron sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| キーワード(2)（和/英） | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
| キーワード(3)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中村 功一 / Koichi Nakamura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 細川 貴之 / Takayuki Hosokawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 酒井 里 / Satoshi Sakai |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 細江 俊介 / Shunsuke Hosoe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部:静岡大学工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University:Graduate School of Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2008-05-15 |
| 資料番号 | ED2008-2,CPM2008-10,SDM2008-22 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 36 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |