| 講演名 | 2008-05-15 RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成へのドーナツ円板の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 細川 貴之, 中村 功一, 細江 俊介, 酒井 里, 以西 雅章, |
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| 抄録(和) | RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn_2O_4粉末を用い、連続して複数回のスパッタを行った。本研究は、反応性スパッタリング中での、ターゲット物質の酸化を防止する方法として考案された。具体的には、ターゲットと基板間にドーナツ状の円板を設置して、結晶特性への効果を調べた。蒸着速度、XRD測定、表面観察を行った結果、現在までの研究で、ターゲットの酸化抑制効果は高くないことが分かった。しかし、蒸着速度の向上に効果があることが分かった。 |
| 抄録(英) | The LiMn_2O_4 films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. The LiMn_2O_4 powder was used as a target material. This research was designed for preventing the target material being oxidized during the reactive sputtering. A doughnut plate was inserted between substrate and target. The deposition rate, XRD, and surface morphology were investigated as a function of doughnut-aperture size. It was found that the deposition rate had a maximum value under the doughnut-aperture of 30mm. It was also found that the plate was effective to inhibit oxidation of target material. |
| キーワード(和) | LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 |
| キーワード(英) | LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries |
| 資料番号 | ED2008-1,CPM2008-9,SDM2008-21 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2008/5/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜生成へのドーナツ円板の効果(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of doughnut-type plate on crystal properties of LiMn_2O_4 films prepared by RF magnetron sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 細川 貴之 / Takayuki HOSOKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 功一 / Kouichi NAKAMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 細江 俊介 / Shunsuke HOSOE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 酒井 里 / Satoshi SAKAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki ISAI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部:静岡大学工学研究科 Faculty of Engineering, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2008-05-15 |
| 資料番号 | ED2008-1,CPM2008-9,SDM2008-21 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 35 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |