| 講演名 | 2008-04-11 マイクロレンズを利用したSi膜エキシマレーザ誘起結晶粒の位置制御(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般) 葉 文昌, 戴 漢昇, 陳 信吉, 陳 秉群, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | マイクロレンズを利用したSi膜のエキシマレーザ誘起結晶粒位置制御法では、横方向結晶粒の形態は種付け工程の種結晶形状に依存する。本論文では種結晶とそれを用いて成長させた横方向結晶粒をSEM、AFM、及びTEMを用いて調べ、エキシマレーザエネルギー密度と結晶形態の相関性を調べた。更に横方向成長過程のその場観察を行い、結晶成長速度は5m/sであるを求めた。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2008-1,OME2008-1 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
|---|---|
| 開催期間 | 2008/4/4(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マイクロレンズを利用したSi膜エキシマレーザ誘起結晶粒の位置制御(TFTの材料・デバイス技術・応用及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 葉 文昌 / Wenchang Yeh |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 国立台湾科技大学電子工程系 Department of Electronics Engineering, National Taiwan University of Science and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 戴 漢昇 / Hanseng Dai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 国立台湾科技大学電子工程系 Department of Electronics Engineering, National Taiwan University of Science and Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 陳 信吉 / Hsin-Chi Chen |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 国立台湾科技大学電子工程系:蘭陽技術学院自動化工程系 Department of Electronics Engineering, National Taiwan University of Science and Technology:Lan Yan Institute of Technology, Department of Automatic Engineering |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 陳 秉群 / Bing-Cyun Chen |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 国立台湾科技大学電子工程系 Department of Electronics Engineering, National Taiwan University of Science and Technology |
| 発表年月日 | 2008-04-11 |
| 資料番号 | SDM2008-1,OME2008-1 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | 2 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |