講演名 2008-01-25
プラスチックフィルムの透湿度計測センサ : ポリイミド薄膜方式(有機材料,一般)
宮入 圭一,
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抄録(和) ガラス基板上にスピンコート法によりポリイミド薄膜を作成し、静電容量型の湿度センサを作製した。ポリイミド薄膜の誘電特性を周波数、温度、湿度依存性を詳細に調査し、薄膜内の水分の分散状態を理論的観点から検討した。さらに、透湿度の評価性能を知るために、PETフィルムを用い透湿度を計測し、通常利用されているモコン法と測定結果を比較したところ、ポリイミド薄膜が高感度湿度センサとして機能することが判明した。
抄録(英) Thin polyimide films were spin coated on a glass substrate to fabricate humidity sensors, which were applied to measure the vapor transmission rate of plastic films. The dielectric properties of polyimide films were investigated by measuring frequency, humidity and, temperature dependences. A state of water absorbed in a polyimide film was discussed from the physical point of view. This method proposed in this report was compared with a conventional MOCON method by using PET films. A high sensitive response to the humidity was proved.
キーワード(和) ポリイミド / センサ / 湿度 / 薄膜
キーワード(英) Polyimide / Sensor / Humidity / Thin film
資料番号 OME2007-75
発行日

研究会情報
研究会 OME
開催期間 2008/1/18(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Organic Material Electronics (OME)
本文の言語 JPN
タイトル(和) プラスチックフィルムの透湿度計測センサ : ポリイミド薄膜方式(有機材料,一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Sensor for Measurement of Water Vapor Transmission Rate of plastic films : Thin Polyimide Film Method
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) ポリイミド / Polyimide
キーワード(2)(和/英) センサ / Sensor
キーワード(3)(和/英) 湿度 / Humidity
キーワード(4)(和/英) 薄膜 / Thin film
第 1 著者 氏名(和/英) 宮入 圭一 / Keiichi Miyairi
第 1 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shinshu University
発表年月日 2008-01-25
資料番号 OME2007-75
巻番号(vol) vol.107
号番号(no) 459
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日