| 講演名 | 2008-01-25 Al系超伝導トンネル接合素子の作製と評価(デジタル,一般) 鎌田 幸佑, 田井野 徹, 佐藤 広海, 明連 広昭, 高田 進, |
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| 抄録(和) | 我々はフォトリソグラフィ技術とドライエッチングを用いてAl系超伝導トンネル接合(Al-STJ)素子を作製することに成功した。Alはドライエッチングが難しいため、正規分布関数(Normal Distribution Function: ICF)形状のような微細な電極パターンを形成することは困難である。我々は誘導結合方式(Inductively Coupled Plasma: ICP)を用いて高密度プラズマを発生させることで、Alのドライエッチングを可能としAl-STJの作製を行った。NDF形状(σ=0.45)で、接合面積が2,500μm^2と10,000μm^2のAl-STJを作製した。0.4KにおいてI-V特性を測定し、V_g=0.38mV、I_ |
| 抄録(英) | We successfully fabricated the aluminum based superconducting tunnel junctions (Al-STJs) which used photolithography technique and dry etching process. Since it is not easy to dry etch the aluminum, we cannot form fine electrode pattern like shape of normal distribution function using the conventional reactive etching method. We took the inductively coupled plasma (ICP) on electrical discharge method and enabled dry etch the Al film. We could fabricate the Al-STJs by dry etching method with ICP. We fabricated STJ detectors with the shape of normal distribution function (σ=0.45) and junction sizes of 2,500μm^2 and 10,000μm^2. We measured I-V characteristic at 0.4K and obtained V_g=0.38mV, I_ |
| キーワード(和) | Al / 超伝導トンネル接合素子(STJ) / フォトン検出器 |
| キーワード(英) | Al / Superconducting Tunnel Junction(STJ) / photon detector |
| 資料番号 | SCE2007-28 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2008/1/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Al系超伝導トンネル接合素子の作製と評価(デジタル,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and Characteristics of Aluminum-based Superconducting Tunnel Junctions |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Al / Al |
| キーワード(2)（和/英） | 超伝導トンネル接合素子(STJ) / Superconducting Tunnel Junction(STJ) |
| キーワード(3)（和/英） | フォトン検出器 / photon detector |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鎌田 幸佑 / Kosuke Kamada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Sci. and Eng., Saitama Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田井野 徹 / Tohru Taino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Sci. and Eng., Saitama Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐藤 広海 / Hiromi Sato |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 理化学研究所 RIKEN |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 明連 広昭 / Hiroaki Myoren |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Sci. and Eng., Saitama Univ. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 高田 進 / Susumu Takada |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Sci. and Eng., Saitama Univ. |
| 発表年月日 | 2008-01-25 |
| 資料番号 | SCE2007-28 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 458 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |