| 講演名 | 2008-01-25 SFQ回路用高温超伝導ジョセフソン接合の開発(デジタル,一般) 若菜 裕紀, 安達 成司, 波頭 経裕, 丸山 道隆, 樽谷 良信, 田辺 圭一, |
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| 抄録(和) | 我々は、高温超伝導体を用いたSFQ(単一磁束量子)回路応用を目的とし、薄膜積層構造作製プロセスや接合作製プロセスの開発をこれまで行ってきた。SFQ回路の高速動作、サンプラー回路の広帯域化(≧100 GHz)を実現するためには、高いI_cR_n積を有する接合の作製プロセス確立が必要不可欠である。そこで我々は、新たにCu-poor前駆体プロセスを開発し、40Kで最高1.3mVの高いI_cR_n積を得ることに成功した。また、サンプラー回路作製プロセスでは、接合形成後に10ステップ以上のプロセスを必要とする。接合形成後に、室温でおおよその接合特性を把握し、チップを選別することができれば、プロセス時間の大幅な短縮が可能となる。そこで我々は、室温での接合抵抗を評価するための専用TEGを開発し、40K動作が可能な試料か否かの判別を可能とした。これらの接合作製プロセス及び評価技術を用いることで、A/Dコンバータの要素回路の動作実証や、サンプラー回路を用いた50GHzの信号波形観測に成功した。 |
| 抄録(英) | We have developed the fabrication process of a multilayer structure and a ramp-edge Josephson junction for single flux quantum (SFQ) circuit application using a high-temperature superconductor (HTS). For operation of SFQ circuits and a sampler with a bandwidth more than 100GHz, establishment of the fabrication process for junctions with high I_cR_n products is indispensable by developing the Cu-poor precursor process. We obtained I_cR_n products up to 1.3mV at 40K. We found that level of the junction at 40K well correlated with the junction resistance at room temperature. We also developed a JJ-TEG for evaluation of junction resistance at room temperature. This JJ-TEG was used to judge whether it could be operated at 40K. Operations of several types of SFQ circuit elements for an A/D converter and a sampler circuit with bandwidth well over 50GHz have been successfully demonstrated by using this fabrication process and evaluation method. |
| キーワード(和) | SFQ回路 / ランプエッジ接合 / 高温超伝導体 |
| キーワード(英) | SFQ circuit / ramp-edge Josephson junction / high-temperature superconductor |
| 資料番号 | SCE2007-25 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2008/1/18(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | SFQ回路用高温超伝導ジョセフソン接合の開発(デジタル,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of HTS Josephson Junctions for SFQ Circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SFQ回路 / SFQ circuit |
| キーワード(2)（和/英） | ランプエッジ接合 / ramp-edge Josephson junction |
| キーワード(3)（和/英） | 高温超伝導体 / high-temperature superconductor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 若菜 裕紀 / Hironori WAKANA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 安達 成司 / Seiji ADACHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 波頭 経裕 / Tsunehiro HATO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 丸山 道隆 / Michitaka MARUYAMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 樽谷 良信 / Yoshinobu TARUTANI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 田辺 圭一 / Keiichi TANABE |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 超伝導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 発表年月日 | 2008-01-25 |
| 資料番号 | SCE2007-25 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 458 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |