| 講演名 | 2008-01-24 光ファイバを用いた高感度CRD測定技術の開発 高木 正和, 松浦 正憲, 逸崎 重徳, |
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| 抄録(和) | 半導体の製造に使用する高純度材料には水分のような不純物のオンライン品質管理が必要とされている。現在、CRD(キャビティリングダウン)法はオンライン高感度分析の一つである。しかし、従来のCRD法では温度や振動といった周囲環境の影響を受けやすいためシステムが不安定となる。本論では新規にファイバループ型の光ファイバCRDシステムを開発した。本システムでは微量サンプルの分析を可能にしたが、サンプルセルにおける光損失が生じたため高感度分析に必要なRDP(リングダウンパルス)を得ることはできなかった。そこでファイバループ中にEDFAを組み込むことで、サンプルセルにおける光損失を補償した。ただし、検知対象物質によっては、測定感度は未だ不十分であると考えている。現在、低損失セルの開発を進めているが十分な結果は得ていない。今後は測定感度を向上させる取組みを行う予定である。 |
| 抄録(英) | The online quality control of impurities such as water in highly pure materials used for semiconductor manufacture is needed. Currently, CRD (Cavity Ring-Down) technique has been one method of online high sensitive analysis. However, in case of conventional CRD, measurement system is unstable because it is easy to be affected by surrounding noise such as temperature and vibration. In this paper, we have developed novel optical fiber CRD system using a fiber loop instead of a pair of mirrers. Although this system is very stable and enables the analysis of microscale sample, in this CRD system, acceptable RDP (Ring -Down Pulse) for high sensitive analysis were not observed because of light loss through sample cell. So, we used optical amplifier in fiber-loop to repair light loss through sample cell. This amplified CRD system made improvement of measurement sensitivity. But we have to improve still further measurement sensitivity depending on analyte assayed. We have tried to develop low-loss cell, but at present satisfactory result are not achieved. We will maintain our approach to in crease measurement sensitivity. |
| キーワード(和) | キャビティリングダウン / カプラ / リングダウンパルス / 光増幅 |
| キーワード(英) | Cavity Ring-Down / coupler / Ring-Down Pulse / optical amplifier |
| 資料番号 | OFT2007-55 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
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| 開催期間 | 2008/1/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Fiber Technology (OFT) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光ファイバを用いた高感度CRD測定技術の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of high sensitive analysis technique by CRD (Cavity Ring Down) method with optical fiber |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | キャビティリングダウン / Cavity Ring-Down |
| キーワード(2)（和/英） | カプラ / coupler |
| キーワード(3)（和/英） | リングダウンパルス / Ring-Down Pulse |
| キーワード(4)（和/英） | 光増幅 / optical amplifier |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高木 正和 / M. Takagi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室 TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD Photoelectronics Project Department |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松浦 正憲 / M. Matsuura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室 TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD Photoelectronics Project Department |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 逸崎 重徳 / S. Itsuzaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室 TATSUTA ELECTRIC WIRE & CABLE Co. LTD Photoelectronics Project Department |
| 発表年月日 | 2008-01-24 |
| 資料番号 | OFT2007-55 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 451 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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