| 講演名 | 2007-12-14 シリコン太陽電池用SiN_xパッシベーション膜におけるNH_3プラズマ界面改質効果(シリコン関連材料の作製と評価) 岸山 友紀, 高橋 優, 大鐘 章義, / 浦岡 行治, 冬木 隆, |
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| 抄録(和) | Si太陽電池の高効率化に際し、高品質な表面パッシベーション技術の開発とその評価は必要不可欠なものとなっている。本研究では、Si表面にNH_3プラズマ処理を施し、その後プラズマCVDを用いてSiN_x膜を堆積させパッシベーションを行った。その結果、NH_3プラズマ処理を施していないものに比べて、大福な実効キャリアライフタイムの改善が見られた。堆積後、さらにアニール処理を行いパッシベーション膜がどの程度の熱に耐えられるのかを調べた。また、NH_3プラズマ処理を用いて太陽電池作製プロセスの低温化について検討した。 |
| 抄録(英) | The effect of NH_3 plasma treatment on p-type (Fz) Si substrates was investigated relating with the post annealing process. NH_3 plasma treatment before the low temperature deposition of silicon nitride (SiN_x) by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) was found to be effective to improve the surface passivation. The effective lifetime with NH_3 plasma-treatment exceeded the effective lifetime without the NH_3 treatment. For fire through process and the new process, like laser fired contacts (LFC), thermal resistance of passivation processes investigated. In the result of NH_3 plasma-treatment, outstanding surface passivation for high efficiency thin silicon solar cells was obtained using SiN films deposited at low temperatures. |
| キーワード(和) | 太陽電池 / SiN_x / パッシベーション / NH_3プラズマ処理 |
| キーワード(英) | Solar cell / SiN_x / Passivation / NH_3 plasma treatment |
| 資料番号 | SDM2007-232 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/12/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコン太陽電池用SiN_xパッシベーション膜におけるNH_3プラズマ界面改質効果(シリコン関連材料の作製と評価) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Interface modification by NH_3 plasma in SiN_x passivation for solar cell |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 太陽電池 / Solar cell |
| キーワード(2)（和/英） | SiN_x / SiN_x |
| キーワード(3)（和/英） | パッシベーション / Passivation |
| キーワード(4)（和/英） | NH_3プラズマ処理 / NH_3 plasma treatment |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岸山 友紀 / Yuki Kishiyama |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)物質創成科学研究科 Graduate school of material science, Nara Institute of Science and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高橋 優 / Yu Takahashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)物質創成科学研究科 Graduate school of material science, Nara Institute of Science and Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大鐘 章義 / Akiyoshi Ogane |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)物質創成科学研究科 Graduate school of material science, Nara Institute of Science and Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | / 浦岡 行治 / Athapol Kitiyanan |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)物質創成科学研究科 Graduate school of material science, Nara Institute of Science and Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 冬木 隆 / Yukiharu Uraoka |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 奈良先端科学技術大学院大学(NAIST)物質創成科学研究科 Graduate school of material science, Nara Institute of Science and Technology |
| 発表年月日 | 2007-12-14 |
| 資料番号 | SDM2007-232 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 388 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |