| 講演名 | 2007-12-14 レーザ・プラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果(シリコン関連材料の作製と評価) 高梨 泰幸, 松尾 直人, 上拾石 和也, 部家 彰, 天野 壮, 宮本 修治, 望月 孝晏, |
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| 抄録(和) | レーザ・プラズマ軟X線(Laser Plasma Soft X-ray: LPX)照射、続いでエネルギー密度が40～60mJ/cm^2でのエキシマ・レーザ・アニール(Excimer Laser Annealing: ELA)によるa-Si薄膜の結晶化について研究を行った。LPXを前処理として照射したのち、エネルギー密度が50-60mJ/cm^2のELAによるa-Si膜の結晶化においては、poly-Si結晶化率は75-85%であった。更に、前処理として電気炉を使用した実験結果と比較して、この現象がLPX照射による温度上昇に拠らないという事を示し、その機構に関しても若干議論する。 |
| 抄録(英) | We investigated the crystallization by Laser Plasma Soft-X-ray (LPX) irradiation followed by Excimer Laser Annealing (ELA) at low-energy densities of 40～60mJ/cm^2. The crystalline fraction at the energy densities of 50 and 60 mJ/cm^2 for the LPX followed by the ELA is 75-85%. The LPX irradiation before ELA decreases the critical energy density for the start of the crystallization. It is indicated experimentally using the furnace annealing that this phenomenon is not due to a rise in heat by the LPX irradiation. The nucleation mechanism by LPX followed by ELA is also discussed. |
| キーワード(和) | レーザ・プラズマ軟X線 / Si / 低温 / 結晶化 / TFT |
| キーワード(英) | Laser Plasma soft X-ray / Si / low temperature / crystallization / TFT |
| 資料番号 | SDM2007-224 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2007/12/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザ・プラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果(シリコン関連材料の作製と評価) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of laser-plasma soft x-ray irradiation on crystallization of a-Si film by excimer laser annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザ・プラズマ軟X線 / Laser Plasma soft X-ray |
| キーワード(2)（和/英） | Si / Si |
| キーワード(3)（和/英） | 低温 / low temperature |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | TFT / TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高梨 泰幸 / Yasuyuki Takanashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 Department of Materials Science & Chemistry, University of Hyogo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松尾 直人 / Naoto Matsuo |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 Department of Materials Science & Chemistry, University of Hyogo |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 上拾石 和也 / Kazuya Uejukkoku |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 Department of Materials Science & Chemistry, University of Hyogo |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 部家 彰 / Akira Heya |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学物質系 Department of Materials Science & Chemistry, University of Hyogo |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 天野 壮 / Sho Amano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度研 LASTI University of Hyogo |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 宮本 修治 / Shuji Miyamoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度研 LASTI University of Hyogo |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 望月 孝晏 / Takayasu Mochizuki |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度研 LASTI University of Hyogo |
| 発表年月日 | 2007-12-14 |
| 資料番号 | SDM2007-224 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 388 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |