| 講演名 | 2007-11-02 小型呼気センシングシステムを目指したSOIハイメサ導波路の伝搬損失低減と高感度化の為の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,一般) 亀山 康介, 松永 泰成, 浜本 貴一, |
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| 抄録(和) | 日常的かつ手軽に日々の健康状態を確認するための携行可能な健康診断システムの実現を目指し,光導波路を用いた赤外吸収呼気分析デバイスの試作・検討を行っている.今回,高感度に呼気成分を検知する上での障害となる導波路損失の低減のため,NLD(Magnetic Neutral Loop Discharge)プラズマエッチング法を適用し,SOI基板上にハイメサ導波路を試作した.その結果,通常のRIE(Reactive Ion Etching)法で製作した導波路と比較し,約50%損失を低減できた.また,ガス検知部に適用する2重ハイメサ導波路について,光気相分布率の更なる向上を目指して検討を行った.導波路幅・導波路間隔をこれまでの設計よりも小さくすることで,光気相分布率89.3%という結果が得られた. |
| 抄録(英) | For the development of compact health-check devices, we have researched on breath-sensing system by using infrared absorption spectroscopy. The NLD (Magnetic Neutral Loop Discharge) plasma etching method was exploited for loss reduction to fabricating the high-mesa waveguides on SOI substrate. As a result, about 50% loss reduction was achieved compared to the waveguide fabricated by using conventional RIE (Reactive Ion Etching) method. Moreover, for improvement of the gas-phase light-distribution-ratio, we have improved the structure of multiply arrayed high-mesa waveguide, which is designed to use as sensing waveguides. As a result, high light-distribution-ratio of 89.3% was obtained in the structure of very narrow waveguide spacing of around 65nm with the waveguide with of around 200nm. |
| キーワード(和) | 光導波路 / SOI基板 / 光集積回路 / 2重ハイメサ導波路 / バイオセンサ / 呼気センサ |
| キーワード(英) | Optical waveguides / SOI-substrate / Photonic integrated circuit / multiply arrayed high-mesa waveguide / Bio-sensors / Breath-sensor |
| 資料番号 | OCS2007-57,OPE2007-112,LQE2007-98 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
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| 開催期間 | 2007/10/25(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 小型呼気センシングシステムを目指したSOIハイメサ導波路の伝搬損失低減と高感度化の為の検討(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Propagation loss reduction and sensitivity improvement of SOI-based high-mesa waveguide for compact breath-sensing system |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路 / Optical waveguides |
| キーワード(2)（和/英） | SOI基板 / SOI-substrate |
| キーワード(3)（和/英） | 光集積回路 / Photonic integrated circuit |
| キーワード(4)（和/英） | 2重ハイメサ導波路 / multiply arrayed high-mesa waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | バイオセンサ / Bio-sensors |
| キーワード(6)（和/英） | 呼気センサ / Breath-sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 亀山 康介 / Kosuke KAMEYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州大学総合理工学府 I-EggS (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences), Kyushu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松永 泰成 / Yasunari MATSUNAGA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州大学総合理工学府 I-EggS (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences), Kyushu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浜本 貴一 / Kiichi HAMAMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州大学総合理工学府 I-EggS (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences), Kyushu University |
| 発表年月日 | 2007-11-02 |
| 資料番号 | OCS2007-57,OPE2007-112,LQE2007-98 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 300 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |