| 講演名 | 2007-10-19 Si圧痕のラマン分光解析(トライボロジー/一般) 柳沢 雅広, 久保 暢宏, 阪田 薫穂, 加藤 真裕, 本間 敬之, 逢坂 哲彌, |
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| 抄録(和) | Si表面に形成した三角錐圧痕について、共焦点型ラマン分光装置を用いてそのスペクトル解析およびイメージング解析を行った。その結果、圧痕周辺の盛り上がり部において応力により分離した3本のピークが観察され、低波数シフトが生じていることから引張歪が加わっていることが分かった。また圧痕中心では高波数シフトが生じて圧縮歪が加わっていることが分かった。これらの歪分布は有限要素法計算によっても確認された。 |
| 抄録(英) | Raman imaging was carried out to measure strain mapping at around indented Si surfaces. Two or three Raman peaks of Si were observed at swells around the triangular indentation dimple made by Berkovich type indenter. On the other hand, single Raman peak with high Raman shift was observed at the center of indentation. Raman shift images of the indentation reveal that there are compressive strain at the center of dimple and tensile strain at the swelled surroundings. The peak separation is induced by biaxial or triaxial stresses during the indentation process. Calculated strain images using FEM (Finite Element Method) showed good agreement with the experimental results. |
| キーワード(和) | ラマン分光法 / シリコン / 圧痕 / 歪 |
| キーワード(英) | Raman Spectroscopy / Silicon / Indentation / Strain |
| 資料番号 | EMD2007-64 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2007/10/12(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si圧痕のラマン分光解析(トライボロジー/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Raman Scattering Spectroscopy of Si Indentation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ラマン分光法 / Raman Spectroscopy |
| キーワード(2)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(3)（和/英） | 圧痕 / Indentation |
| キーワード(4)（和/英） | 歪 / Strain |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 柳沢 雅広 / Masahiro YANAGISAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学生命医療工学研究所 Institute for Biomedical Engineering, Waseda University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 久保 暢宏 / Nobuhiro KUBO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 阪田 薫穂 / Kaoruho SAKATA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 加藤 真裕 / Masahiro KATO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 本間 敬之 / Takayuki HOMMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 逢坂 哲彌 / Tetsuya OSAKA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 早稲田大学理工学術院 Faculty of Science and Engineering, Waseda University |
| 発表年月日 | 2007-10-19 |
| 資料番号 | EMD2007-64 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 272 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |