| 講演名 | 2007-09-28 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価 田中 智也, 大橋 雄二, 荒川 元孝, 櫛引 淳一, |
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| 抄録(和) | 我々は、ZnO単結晶内の抵抗率分布の新しい評価法として、直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムによる超音波を用いた方法を提案し、その開発のための予備的実験を行った。抵抗率の異なる3種類のZ-cut ZnO単結晶試料A(高抵抗)、B(低抵抗)、C(未知抵抗)に対して、225 MHzにおいて漏洩弾性表面波(LSAW)速度を測定した。試料A,Bにおける測定値は、それぞれ2616m/s、2669m/sであり、抵抗率の差異に起因する50m/sもの大きな速度差を捉えた。また、試料CのLSAW速度分布において、結晶の成長と関連づけると種結晶と思われる部分において2612m/sで、そのまわりへ2672m/sにまで分布を示した。得られた測定結果を説明するために、LSAWの主な粒子変位成分であるZ軸偏波の横波について抵抗率と音速の関係を理論的に調べた。各試料の抵抗率を、試料Aでは1Ω・m以下、試料Bでは1000Ω・m程度、試料Cでは1-1000Ω・m以上と見積もることができた。 |
| 抄録(英) | We conducted preliminary experiments for developing a new ultrasonic method of evaluating resisitivity distributions in ZnO single crystals using the line-focus-beam ultrasonic material characterization system. We measured velocities of leaky surface acoustic waves (LSAW) at 225 MHz on three Z-cut ZnO specimens A, B, and C with low, high, and unknown resistivities. We obtained the great velocity changes of more than 50 m/s caused by differences in resistivity from the results of 2616 m/s for specimen A and 2669 m/s for specimen B, and evaluated specimen C with velocity distributions from 2612 m/s around the seed part to 2672 m/s for the outside part associated with the crystal growth. To explain the experimental results obtained above, we theoretically investigated relationship between resistivity and velocity of Z-axis-polarized shear wave that was a main particle displacement component of the LSAW. We could estimate resistivities of the three specimens as follows: less than 1Ω・m for specimen A, about 1000Ω・m for specimen B, and over 1-1000Ω・m for specimen C. |
| キーワード(和) | ZnO単結晶 / 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / 直線集束ビーム/平面超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / 抵抗率 |
| キーワード(英) | ZnO single crystal / ultrasonic microspectroscopy technology / line-focus-beam/plane-wave ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave velocity / resistivity |
| 資料番号 | US2007-51 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2007/9/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of ZnO Single Crystals by Means of the Ultrasonic Microspectroscopy Technology |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO単結晶 / ZnO single crystal |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術 / ultrasonic microspectroscopy technology |
| キーワード(3)（和/英） | 直線集束ビーム/平面超音波材料解析システム / line-focus-beam/plane-wave ultrasonic material characterization system |
| キーワード(4)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(5)（和/英） | 抵抗率 / resistivity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 智也 / Tomoya TANAKA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate school of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大橋 雄二 / Yuji OHASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate school of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒川 元孝 / Mototaka ARAKAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate school of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi KUSHIBIKI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate school of Engineering, Tohoku Univ. |
| 発表年月日 | 2007-09-28 |
| 資料番号 | US2007-51 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | 233 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |