講演名 | 2007-10-31 相互透過係数の固有ベクトルを用いたホットスポット検出方法の検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般) 吉川 智史, 二谷 広貴, 千々松 達夫, 浅井 了, |
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抄録(和) | 本論文では、光学条件から定まる相互透過係数を固有値分解することで転写される光学像が、光学系カーネルとパターン上の振幅分布のコンボリューションで表されることに着目した。カーネルが表している周辺への光近接効果の影響を用いて、露光マージンの少ないホットスポットと呼ばれる危険パターンの検出方法について検討を行う。危険パターン検出に用いるカーネルを、最適露光条件のみではなく、フォーカスの異なる相互透過係数との差分を用いて計算することで、フォーカスマージンの少ない箇所についても危険パターンとして検出できることを確認した。また、検出したパターンが実際のデバイス上においてもマージンが少なくなっていることを確認した。 |
抄録(英) | In this paper, we examined the method for detecting litho weak points using kernel derived from eigen vectors of Transmission Cross Coefficient (TCC). We regarded on that the aerial image can be expressed by the convolution-integral of amplitude of polygon's transmission and kernel, and utilized the relationship for hot-spot detection. We confirmed that detected features have fewer margins than undetected features by using the difference of ideal TCC and defocused TCC. Furthermore, we confirmed that experimental results show good agreement with our predictions. |
キーワード(和) | 相互透過係数 / 光近接効果 / カーネル / ホットスポット |
キーワード(英) | TCC / eigen vector / kernel / litho weak points |
資料番号 | VLD2007-63,SDM2007-207 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | VLD |
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開催期間 | 2007/10/24(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | VLSI Design Technologies (VLD) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 相互透過係数の固有ベクトルを用いたホットスポット検出方法の検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Study of litho weak points detecting method using TCC's eigen vector |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 相互透過係数 / TCC |
キーワード(2)(和/英) | 光近接効果 / eigen vector |
キーワード(3)(和/英) | カーネル / kernel |
キーワード(4)(和/英) | ホットスポット / litho weak points |
第 1 著者 氏名(和/英) | 吉川 智史 / Satoshi YOSHIKAWA |
第 1 著者 所属(和/英) | 富士通VLSI株式会社 FUJITSU VLSI LIMITED |
第 2 著者 氏名(和/英) | 二谷 広貴 / Hiroki FUTATSUYA |
第 2 著者 所属(和/英) | 富士通株式会社 FUJITSU LIMITED |
第 3 著者 氏名(和/英) | 千々松 達夫 / Tatsuo CHIJIMATSU |
第 3 著者 所属(和/英) | 富士通株式会社 FUJITSU LIMITED |
第 4 著者 氏名(和/英) | 浅井 了 / Satoru ASAI |
第 4 著者 所属(和/英) | 富士通株式会社 FUJITSU LIMITED |
発表年月日 | 2007-10-31 |
資料番号 | VLD2007-63,SDM2007-207 |
巻番号(vol) | vol.107 |
号番号(no) | 296 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 4 |
発行日 |